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마운트판 탑플레이트 블록 캐리어플레이트 - mount plate top plate block carrier plate

웨이퍼를 부착하기 위한 원판. 화학적으로 침투되지 않는 재질로 경년변화(aging, 시간이 지나면서 변하는 것), 하중에 대한 변화가 작은 것이 사용된다.(예, 세라믹스와 유리 등)

반/디 용어집 웨이퍼제공정 mount plate top plate block carrier plate
디마운트장치 - demounting machine demount station

연마가 끝난 후 세라믹과 글래스 블레이드에 왁스로 부착된 웨이퍼를 얇은 칼 등으로 떼어내, 컨베어와 워터슈터(water chuter)로 카세트에 자동적으로 넣는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 디마운트장치
공기가압방식 - air pressure type

마운트판의 가압방식 중에서 공기압을 이용한 에어실린더를 사용하여 탑링(top ring) 위에 하중을 가하는 방식. (주기적으로 탑링의 하중을 경감하는 방식으로 에어실린더를 작용시키는 감압방식도 있다.)

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
리테이너링 - retainer ring

웨이퍼가 연마중에 이탈하는 것을 막기 위한 장치

반/디 용어집 웨이퍼제공정 retainer ring

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