바스켓위브 묘화법 - basket - weave drawing fashion
라스터 스캔방식의 전자빔 묘화장치에서, 마스터 마스크를 묘화할 때, 스테이지가 동작하는 모양을 바구니 짜는 것에 비유한 것. 한 칩이스트라이프(또는 프레임)로 된 마스터 마스크에 있어서, 첫 행에 배치된 칩군(chip群)의 최초의 칩열을 제1 스트라이프(또는 프레임)에서 제스트라이프(또는 프레임)까지 스테이지의 왕복운동으로 묘화하여, 한 칩렬의 묘화를 완성하고, 같은 모양의 방식으로써 순차적으로 칩렬(chip列) 묘화를 완성시키는 묘화방식.
반/디 용어집
노광․묘화장치
마스크제조공정
