반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

누액센서 - liquid spill sensor

세정장치와 식각장치의 탱크․배관계에서 약액과 세정수 등이 누설되는가를 감지하는 센서. 보통, 약액이 누설되면 정전용량이 변화하여 검지하는 센서가 사용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
다조침적식 세정장치 - multibath wet cleaning equipment

여러 수조를 나열하고, 세정물을 순차적으로 바꿔가며 침적시킬 수 있는 수조

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
고온약액순환여과장치 - hot acid circulation and filtration system

고온(160。C정도까지)의 약액에도 견딜 수 있도록 설계된 순환여과장치. 펌프․밸브․필터 등의 구성부품에는 PTFE, PFA 부재가 사용되고, 열응력에 대하여 충분히 고려한 구조로 되어 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
고압분사 세정장치 고압제트 스프레이 - high pressure jet spray

노즐에서 강한 압력으로 액체세정제를 고속으로 분출시켜, 이 힘으로 표면 이물을 박리시켜 씻어서 흘려 없애는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
기상세정장치 - vapor phase cleaning equipment

화학약품증기와 가스를 불화성가스로 희석시켜 반응실로 보내어, 세정물의 표면오염물을 기화하기 쉬운 반응생성물로 변화시켜 제거하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 건식세정장치
건조장치 - drying equipment

습식세정 후의 웨이퍼에서 물을 제거하여 건조상태로 만드는 장치.

반/디 용어집 drying equipment 웨이퍼처리공정
광화학세정 장치 UV 오존 세정장치 자외선오존 세정장치 - photo - chemical cleaning equipment

200nm보다 짧은 파장을 포함하는 빛을 산소를 포함하는 분위기 중에 있는 오염면에 비추어, 세정대상물 표면의 유기오염물을 산화분해하여 제거하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 건식세정장치

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

CFL수 - Courant - Friedrichs...

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

누액센서 - liquid spill sensor

다조침적식 세정장치 - multibath wet cleaning equipment

고온약액순환여과장치 - hot acid circulation and filtration system

고압분사 세정장치 고압제트 스프레이 - high pressure jet spray

기상세정장치 - vapor phase cleaning equipment

건조장치 - drying equipment

광화학세정 장치 UV 오존 세정장치 자외선오존 세정장치 - photo - chemical cleaning equipment

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!