순화여과식 세정조 - bath with filter for circulating solution
약액을 항상 필터로 여과하는 세정조.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
세정장치 - cleaning equipment
표면에 있는 입자․유기물․금속표면불순물 등의 오염을 액체 또는 기체 세정제의 화학작용과 각종 물리에너지를 이용하여 제거하는 장치.
반/디 용어집웨이퍼처리공정세정
수중 컨베이어 - underwater conveyor
수중에서 세정대상물을 운반하는 장치.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
메가헤르쯔 초음파 세정장치 - megasonic cleaning equipment
800kHz에서 1MHz의 주파수대역의 초음파를 사용하는 세정장치. 메가헤르쯔 초음파세정에는 캐비테이션(cavitation)의 발생이 없고, 강한 진동가속도가 물분자에 부여되므로 웨이퍼에 대미지를 주지 않고, 서브미크론의 입자를 제거하는 것이 가능하다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
빠른 덤프 린스 - quick dump rinse
순수세정조에서 배수와 급수를 빠르게 여러 번 번갈아 가며 순수세정하는 방법.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
습식세정장치 웻스테이션 - wet cleaning equipment wet station
약용액․유기용매․물 등 액체를 사용하여 세정하는 장치. 유해한 약품과 용매의 증기가 발생하는 세정장치에는, 실내의 증기가 확산되지 않게 배기구(outlet)가 붙어있다. 또 약액에 대응하는 내산성 플라스틱, 유기용매에 대응하는 스테인리스강(stainless 鋼)이 몸통의 재료로 사용된다. 장치전용의 팬필터장치를 천장에 갖춘 팬필터형과 없는 오픈형으로 크게 구분된다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
브러시 스크러버 브러시 세정기 - brush scrubber
회전하는 브러시에 세정액을 부으면서, 세정면을 누루면서 이동시켜, 표면부착물을 모조리 세정하는 장치. 브러시의 모양에는 원통형과 컵형이 있고, 브러시의 재료에는 식물성 털과 스폰지가 있다. 레지스트 도포 전에 먼지를 제거하는 데 사용되는 것 외에, 최근에는 웨이퍼 뒷면의 오염을 제거하는 것에 사용되고 있다. 한 면만 처리하는 장치와 양면을 동시에 처리하는 장치가 있다.
