측정하려는 시료에 가변위상의 펄스빔을 조사하여 이차전자를 방출시켜, 스펙트로메터(spectrometer)와 귀환루프를 이용하여, 각 위상에서의 전압을 측정하여 그것으로 파형을 구하는 것.
반/디 용어집사공정디버그
자동침정렬 기능 - automatic probe to pad alignment function
프로브침 끝앞의 위치를 광학계로 계측하여, 프로브의 앞끝을 패드에 자동으로 정렬하는 기능.
반/디 용어집사공정핸들링
페이지검사 기능 - page test function
페이지모드 기능을 갖는 DRAM의 시험에 있어서, 시험패턴의 동작에서 자동적으로 페이지 동작을 검출하여 페이지모드테스트의 테스트 파라메터를 설정하는 기능.
반/디 용어집사공정디버그
파형디지타이저 HDGT PDGT - waveform digitizer high speed (precision) digitizer
정현파, 변조파를 A/D변환하여, 주파수특성, 그룹 지연 등을 측정하는 기능을 갖는다. AD변환기와 데이터 저장메모리로 구성되어 있다.
반/디 용어집사공정혼합형 디버그장치
최소검출 펄스폭 - minimum detectable pulse width
피측정디바이스의 출력레벨을 판정하는 비교기의 동특성 중의 하나. 판정동작이 가능한 범위에서의 입력이 들어오면, 최소값의 펄스로 출력된다.
반/디 용어집기본․공통사공정
DGS - device ground sense
디바이스를 시험할 때의 기준전위. 이 전위를 기준으로 측정결과를 얻는다.
반/디 용어집사공정디버그
ASIC테스터 ASIC검사 장치 - ASIC tester ASIC verification system
피측정디바이스로써 게이트어레이 등의 측정에 적합한 논리검사기. 대규모고속화된 ASIC을 검사하는 경우, 테스트패턴을 생성하는 CAD환경과 검사기와의 유연한(smooth) 링크가 중요하다. 이 검사기는 최적의 맨-머신(man-machine) 인터페이스 및 퍼핀 아키텍처(per pin architecture) 등이 중요한 기능이다.
반/디 용어집사공정디버그
TOX 전유기할로겐화합물 - total organic halogen
유기할로겐화합물의 총칭. 트리할로메탄 외에, 트리클로로메틸렌(C2HCl3), 테트라클로로메틸렌(C2Cl4), 사염화탄소(CCl4), 디클로로메탄(CH2Cl2), 트리클로로에탄(C2H3Cl3), 디클로로에틸렌(C2H2Cl2) 등이 포함된다.
반/디 용어집사공정신뢰성 검사
켈빈 접속 - Kelvin contact
전류가 흐르는 포스라인과 전압을 검출하는 센스라인을 이용하여 측정부의 전압오차를 적게하는 접속방법.