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컬러 필터 시험 - color filter test

컬러필터에 부가된 디바이스에 있어서, 필터의 색마다 화소에 집중으로 실시하는 감도 및 감도비(比)의 시험.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
테스트번인 장치 - test burn - in system

번인에 있어서, 피시험디바이스의 양․불량판정평가를 하는 장치. 패턴입력과 출력기능 등으로 양․불량판정, 불량 셀의 지정, 해석의 소프트웨어적인 기능을 갖는다.

반/디 용어집 사공정 에싱
테스트헤드 - test head

피측정디바이스에 인가하는 시료용전원, 타이밍발생기(generator)출력, 패턴발생기출력부 및 디바이스 출력을 측정부로 편입시키기 위한 입력부로 구성되며, 피측정디바이스를 직접탑재하여 평가하는 부분.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
모니터드 번인장치 - monitored burn - in system

동적 번인에 있어서, 반도체디바이스의 입력회로에 신호를 인가할 뿐만 아니라, 출력회로의특성도 모니터하는 기능을 갖는 스크리닝장치. 디바이스의 양․불량판정기능을 갖는 것도 있다.

반/디 용어집 사공정 에싱
번인제어기 - burn - in controller

수조내의 온도, 피측정디바이스 인가전압, 테스트패턴 등의 번인조건을 조정하여 기억, 실행, 수조내의 온도, 시간, 챔버, 드라이버, 시스템의 이상을 모니터링하는 번인시스템의 제어기구.

반/디 용어집 사공정 에싱
에지센서 - edge sensor

침 모양의 선단에 의해 웨이퍼의 끝, 또는 높이를 검출하는 부품, 또는 기구.

반/디 용어집 사공정 핸들링
선결함시험 - line defect test

균일광 또는 다크조건에 있어서, 특정의 라인(주로 가로 방향)에 발생하는 결함을 시험하는 것.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
소터 - sorter

피측정디바이스를 테스트결과에 따라 분류하여, 지정된 장소에 저장하는 것

반/디 용어집 사공정 핸들링
압력쿠커 압력용기 - pressure cooker

시험하려는 디바이스를 압력용기 안에 두고, 증기압을 높여 강한 압력으로 디바이스의 수지피복 속으로 수증기를 가하여, 습기의 침투를 가속시키는 것을 목적으로 하는 장치.

반/디 용어집 사공정 에싱

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