여과기에서 여과층의 하부에 설치한 집수장치. 주요한 목적은 여과재의 지지, 여과수의 집수 및 역류세정수의 균등배분 등이다. 이 형식에는 다공관, 다공판과 노즐방식 등이 있다.
반/디 용어집사공정신뢰성 검사
IDDQ 시험 정지전압 전류시험 - IDDQ test quiescent power supply current test
CMOS디바이스의 시험에 있어서, 디바이스에 테스트패턴을 인가하여, 각 사이클마다의 정지전원전류를 측정하여 불량을 검출하는 시험방법.
반/디 용어집기본․공통사공정
펄스마스크 검사 - pulse mask test
ISDN용 디바이스에서 단일 펄스데이터를 보낼 때, 파형의 오버슛(overshoot), 타이밍의 오차 등을 허용 가능한 범위의 템플레이트(template)와 비교하는 검사.
반/디 용어집사공정혼합형 디버그장치
정적기능검사 - static functional test
시간적으로 변화하지 않는 논리신호를 패턴발생기에서 피측정디바이스에 입력시켜, 이것의 출력특성 및 시간축 특성을 평가하는 시험.
반/디 용어집기본․공통사공정
핫 척 히트업스테이지 - hot chuck heat up stage
프로브 등으로 각 칩의 고온환경에서의 전기특성을 측정가능하도록 웨이퍼를 가열하고 유지하는 부품. 저온환경에서 하는 것을 쿨 척, 일정한 온도환경에서 하는 것을 항온 척이라고 한다.
반/디 용어집사공정핸들링
잼 - jamming
핸들러로 피측정디바이스를 처리할 때에 피측정디바이스가 도중에 반송불량되는 것.
반/디 용어집사공정핸들링
차동DC 측정 - differential DC measure - ment
임의의 두 점 사이의 직류전위차를 측정하는 것.
반/디 용어집기본․공통사공정
퍼핀테스터 퍼핀리소스 테스터 - per - pin tester per - pin resource tester
피측정디바이스에 인가한 테스터 파라메터가 각 핀에 독립적으로 설정되는 기능을 갖는 장치. 테스터 파라메터를 각 핀 공용으로 사용하는 쉐어드리소스형(shared resource) 테스터에 비해, 복잡한 테스터패턴 및 타이밍 등의 조건 발생이 불가능하기 때문에, 고도화한 논리IC의 측정에 이용되고 있다.
반/디 용어집기본․공통사공정
pH조정제주입장치 - pH adjustment equipment
원수의 pH조정 및 응집반응으로 소비되는 알칼리성분을 조정하여, 최적응집조건을 유지하기 위하여 산과 알칼리를 주입하는 장치. 조정제로써는 염산, 황산, 수산화나트륨, 탄소나트륨, 수소화칼슘 등이 이용된다.