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삽입 링 프로그 링 - insert ring frog ring

퍼포먼스 보드와 프로브카드를 접속하는 원 모양의 기구.

반/디 용어집 사공정 핸들링
상호측정기능 시이얼측정기능 - multiplex test function

두 대 이상의 테스트헤드가 디바이스를 측정하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
전압콘트래스트 전위콘트래스트 - voltage contrast potential contrast

피측정디바이스의 표면을 전자빔으로 조사할 때에 검출되는 이차전자에 의한 전위분포의 명암.

반/디 용어집 사공정 디버그
전위측정 - potential measure - ment

피측정디바이스에서 방출된 수 eV의 낮은 운동에너지를 갖는 이차전자의 양을 전압으로 변환하여 측정하는 것.

반/디 용어집 사공정 디버그
DC 파라메터 검사장치 - DC parame - ter test program

반도체디바이스의 각종 DC 파라메터를 고정밀, 고분해능으로 측정하는 장치.

반/디 용어집 사공정 디버그
존 수 - zone count

다품종의 피측정디바이스를 서로 다른 테스트패턴에서 동시에 번인가능하도록 동일 항온조 안에서 전기적으로 구별된 영역의 수.

반/디 용어집 사공정 에싱
중계보드 - extension board

번인보드와 드라이어보드(또는 마더보드)를 번인챔버의 단열재를 통하여 전기적으로 접속시키는 보드. 스루월(through wall)보드 또는 필드스루보드라고도 한다.

반/디 용어집 사공정 에싱
핀일렉트로닉스 - pin electronics

피측정디바이스의 입출력핀에 대한 인터페이스로써 사용되는 테스터측 회로의 총칭. ※I/O제어를 DRE(Driver Enable Control)라고도 부른다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
TDDB시험 산화막시변파괴시험 - time dependent dielectric breakdown test

절연파괴전압 이하의 전압을 계속 인가하면, 곧 파괴되는 게이트산화막의 수명시험.

반/디 용어집 사공정 에싱

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

CFL수 - Courant - Friedrichs...

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

삽입 링 프로그 링 - insert ring frog ring

상호측정기능 시이얼측정기능 - multiplex test function

전압콘트래스트 전위콘트래스트 - voltage contrast potential contrast

전위측정 - potential measure - ment

DC 파라메터 검사장치 - DC parame - ter test program

존 수 - zone count

중계보드 - extension board

핀일렉트로닉스 - pin electronics

TDDB시험 산화막시변파괴시험 - time dependent dielectric breakdown test

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