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부하회로 - load circuit

피측정디바이스의 입력 및 출력핀의 부하로써 스펙시트에 규정된 시험조건으로 시험하기 위하여 퍼포먼스보드 등으로 설계된 회로. TTL 시뮬레이터 등 프로그램 로드의 대용으로 사용된다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
스트로브방법 - stroboscopic imaging

DUT의 동작타이밍과과 동기(synchronized)시켜, 단시간의 펄스모양의 전자빔을 조사하여, 고속동작을 하고 있는 디바이스의 동작 중의 표면전위분포를 정지한 것 같은 전위콘트래스트로 관찰하는 방법.

반/디 용어집 사공정 디버그
번인시스템 - burn - in system

고유결함이 있는 반도체소자 또는, 제조상의 부정합․불량, 시간과 스트레스에 의존하는 고장을 일으키는 디바이스를 제거하기 위하여 일정시간동안 고온, 고전압 등의 스트레스를 주어 스크리닝(screening)시험을 하는 장치.

반/디 용어집 사공정 에싱
샘플링 디지타이저 - sampling digitizer

수백MHz에서 수GHz의 주파수로 되풀이 되는 파형을 피측정주파수보다 낮은 주기로 위상을 조정하면서 샘플링하여, 입력파형과 상이성을 유지하면서 AD변화하는 파형디지타이저. 고속DA 컨버터가 작동하면서 특성 등을 평가하는 기능. 샘플링헤드, ADC, 메모리로 구성된다.

반/디 용어집 사공정 혼합형 디버그장치
여과기차압계 - differential pressure gauge

여과기의 입구와 출구의 압력차를 측정하는 기기. 원수 중 현탁물에 의해 여과층이 막히는 것을 검지하기 위한 것.

반/디 용어집 사공정 여과기차압계
잔류염소계 - residual chlorine meter

염소는 수중의 피산화물에 의해 소비되고, 그 잉여분이 잔류염소형태가 되는데, 그 양을 측정하는 기구. 폴라로그래프(polarography)방식과 비색(比色)방식이 있다. 잔류염소라는 것은, 유리잔류염소(HClO 및 ClO-)와 결함잔류염소(수중의 암모니아 등과 유리잔류염소가 결합된 염소반응물)을 합하여 말한다.

반/디 용어집 사공정
전압인가 전류측정 VSIM VFIM - voltage source(force) current measure - ment

피측정디바이스에 전압을 인가하여, 피측정디바이스에 흐르는 전류를 측정하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
프로브마크 검사 침선단검사 - probe - mark inspection

프로버에 있어서, 각 칩의 전극에 부착된 프로브니들의 접촉흔적의 크기와 위치를, 화상처리장치를 사용하여 검사하는 기능.

반/디 용어집 사공정 핸들링
화상데이터 메모리 프레임메모리 - image data memory frame memory

A/D컨버터로 디지털 변환시킨 화소데이터를 저장한 메모리. 화소간 연산을 할 경우, 워크메모리를 결과메모리로도 사용할 수 있다.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치

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마찰계수 - friction coefficient

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