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콘렌즈 - corn lens

광원에서부터 생기는 흑점을 제거하기 위해 설치하는 렌즈

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
토탈오버레이 정밀도 - total overlay accuracy

웨이퍼처리의 모든 공정이 끝난 후, 최종적으로 웨이퍼 위에 형성된 전층의 패턴간의 중복 정밀도.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
자동초점계 - auto focus system

스테퍼로 노광할 때, 웨이퍼에 상이 제대로 맺히도록 하는 시스템. 빛을 주고 받는 센서는 고정이 되어있고, 웨이퍼 스테이지가 슬롯단위로 이동한 뒤 정지하면 샷의중심부에 비추는 빛에 의해 초점이 측정되어 자동적으로 초점을 맞혀준다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
축소투영렌즈 울트라렌즈 - demagnified projection lens ultra lens

레티클의 패턴을 1/5～1/10로 축소 투영시켜 빛을 웨이터로 전사시켜주는 렌즈

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
타원거울 - ellipsoidal mirror

수은등 같은 광원에서 사방으로 퍼져나오는 빛을 한면으로 집중시켜 빛의 세기를 높이고 효율을 좋게 하기위한 렌즈.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
화면사이즈 - image field

한 번의 노광으로 유효한 최대노광 면적, 주로 스텝식 투영노광장치에서 사용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
X선 노광장치 - X - ray aligner

연(軟) X선으로 노광하는 노광장치

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
TTL 자동 포커스 - through - the - lens auto focus

투영광학계를 매개로 실시하는 자동포커스.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
정렬 옵셋 - alignment offset

웨이퍼 위의 여러 곳에 정렬마스크의 위치오차의 평균값과 정규위치와의 오차.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

콘렌즈 - corn lens

토탈오버레이 정밀도 - total overlay accuracy

자동초점계 - auto focus system

축소투영렌즈 울트라렌즈 - demagnified projection lens ultra lens

타원거울 - ellipsoidal mirror

화면사이즈 - image field

X선 노광장치 - X - ray aligner

TTL 자동 포커스 - through - the - lens auto focus

정렬 옵셋 - alignment offset

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