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글로벌틸트 글로벌 레벌링 - global tilting global leveling

웨이퍼 전면을 한꺼번에 틸팅(tilting)하는 것. 주로 웨이퍼 전체에 테이퍼(taper)성분의 제거를 목적으로 한다.

반/디 용어집 global tilting global leveling 웨이퍼처리공정
레티클홀더 마스크홀더 - reticle holder mask holder

레티클 또는 마스크를 웨이퍼 또는 광학계에 대하여 정해지는 위치로 유지하기 위한 지지구.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
대형액정 디스플레이용(用) 노광장치 - aligner for large liquid crystal display substrates

액정디스플레이 등의 대형유리기판에 노광하는 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
레티클회전 오차 - reticle rotation error

레티클정렬의 회전방향오차.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
레티클 스테이지 마스크 스테이지 - reticle stage mask stage

레티클을 미동(微動)시켜, 노광위치를 결정하는 기구. 같은 방법으로 마스크를 움직여 노광위치를 결정하는 기구를 마스크 스테이지라고 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
기준 마크 - fiducial mark

웨이퍼스텝 위의 고정된 베이스라인의 변동량을 측정하기 위한 전용 마크.

반/디 용어집 기준 마크 fiducial mark
기압배율 보정계 - magnification correction system for atmospheric pressure

기압의 변화(공기의 굴절률의 변화)에 따라 변하는 투영렌즈의 배율을 보정하는 기구.

반/디 용어집 기압배율 보정계 magnification correction system for atmospheric pr
글로벌정렬 - global alignment

스텝식 투영노광장치에 있어서, 위치정보에 의한 추정계산을 토대로 하여, 웨이퍼스테이지를 노광위치로 이동시키는 정렬방식.

반/디 용어집 글로벌정렬 global alignment
광적분기 - light integrator

여러 개의 소형렌즈를 이차원적으로 배치(파리눈 렌즈)한 렌즈. 광원을 타원형 거울 등으로 집속한 위치에 배치하는 것으로, 광원상을 분할하여, 레티클 위에 중복되므로, 조도불균일성을 없앤다.

반/디 용어집 광적분기 웨이퍼처리공정

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