반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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시프터 - shifter

위상 시프트 마스크(PSM)에 있어서, 빛의 파장을 변화시켜 위상차를 발생시키는 물질. SOG, SiO2 등이 이용된다. 시프터 막의 두께d는 d=λ/2 (n-1) [λ:빛의 파장, n:시프터의 굴절률]일 경우에 위상은 180̊반전된다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
방식제 - corrosion inhibitors

냉각수장치에 사용되고 있는 금속재료의 부식을 방지하는 약품. 인염산, 포스폰염산, 카르본산계 폴리머 등이 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
애프터큐어 포스트규어 - after cure post cure

열경화성 수지를 성형 후에 방치하거나 가열하고, 또 경화를 진행시키는 것.

반/디 용어집 패키지 조립공정
블루밍검사 - blooming test

포화량을 넘은 스폿 광을 디바이스의 수광부에 조사할 때, 빛을 받는 화소에 전하의 흐름이 생기지 않는 최대광량을 측정하는 시험

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
빔 정렬 - beam alignment

전자 또는 레이저광학계의 각 구성요소의 광축을 합성하는 것. 각 요소를 기계적으로 위치 조정하는 방법과 편향기를 설계하여 빔의 위치를 조정하는 방법이 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
모방연삭 - copy grinding

형판 또는 모형을 따라 웨이퍼의 모양을 연삭하는 작업.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
역침투장치 RO장치 - reverse osmosis unit

역침투막을 이용하여 수중의 이온, 유기물, 미립자, 생균 등을 제거하는 장치. 수질에 의해 다른 이온교환장치의 전단 혹은 후단에 설치하며, 처리수의 수질 안정화에 지극히 중요한 역할을 맡는다. 보안필터, 고압펌프, 역침투막, 압력용기 등으로 구성된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
성형편향계 - beam shaping system

전자빔을 원하는 모양으로 성형하기 위한 렌즈, 성형 개구, 편향기 등이 유기적으로 결합된 계.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
심냉공기분리장치 - cryogenic air separator

원료공기를 압축시켜 액화시킨 후, 끓는점의 차를 이용하여, N2, O2, Ar을 분리하는 장치. 승압, 펌프, 열교환기, 공기를 팽창시키는 터빈 및 가스를 분리하는 정류기로 구성된다. 액화가스로써 추출물과 가스추출하는 것 2가지가 있다. 가스추출의 심냉공기분리장치는, 주로 온사이트플랜트로써 설치한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

CFL수 - Courant - Friedrichs...

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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모방연삭 - copy grinding

역침투장치 RO장치 - reverse osmosis unit

성형편향계 - beam shaping system

심냉공기분리장치 - cryogenic air separator

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