잠깐의 정전도 허용되지 않는 부하에 전기를 공급하는 장치. 교류를 직류변환하여 축전지에 저장하고, 그 전기를 여럽너 교류로 변환하여 분화레 공급하는 방식이 많다. 교환장치는 정전압, 정주파수의 출력특성을 갖기 때문에 CVCF라는 약자로 쓰인다.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
바디 - body
실제 사용되는 일정한 직경이 있는 영역. 일정한 직경의 결정을 성장시키고 있으므로 직동부(直胴部)라고도 한다. 현재는 직경을 검출하여 자동제어계에서 연속적으로 치수조정하고 있다.
반/디 용어집결정성장웨이퍼제공정
상압법 - atmosphere pressure method
결정성장용기 안에 불할성가스를 흘려, 결정성장할 때의 반응생성물을 배출시켜 청정분위기를 만들기 위해 분위기를 대기압으로 하는 방법.
반/디 용어집단결정제조장치-형식웨이퍼제공정
스토커 - stocker
핸들러에 의한 측정이 끝난 디바이스를 분류 캐비넷, 또는 매거진으로 보낼 때까지 일시적으로 대기시키는 기구부.
반/디 용어집사공정핸들링
에어락 - air lock
부유미립자관리구역에의 사람과 물건이 출입할 때, 그 구역에 압력을 유지하기 위해 설치된 특수한 기구. 보통은 출입하기 위한 개구부의 양쪽에 두장의 문을 설치하여, 동시에 개폐되지 않도록 되어 있다. 에어락기능을 갖는 작은 방(챔버)을 말하는 경우도 있다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
아베 오차 - Abbe error
치수측정장치를 이용한 측정계에 있어서, 피측정점이 측정축 위에 없을 때에, 피측정 대상을 이동시키는 수단(stage 등)의 진직도(眞直度)의 오차에 의해 발생하는 측정값의 오차. 측정축과 피측정점의 어긋난 양을 , 스테이지(stage)계의 진직도 오차(각도오차)를 θ로 놓으면, 근사적으로 sinθ가 된다.
반/디 용어집기본․공통마스크제조공정
스트리트 - street
패턴이 형성된 웨이퍼의 칩과 칩사이에 형성된 약 50㎛폭의 경계선
반/디 용어집조립공정기본․공통
스프레이식 식각장치 - spray wet etching system
화학식각액을 스프레이 노즐로 분사시켜 식각하는 장치.
반/디 용어집웨이퍼 식각장치웨이퍼처리공정
불소이온모니터 - fluoride ion monitor
공장배수에 포함된 불소이온농도를 감시하기 위한 계기. 시료수로 pH조정제를 첨가하여 고체전극법으로 검출한다.
