주기성의 변화가 비교적 적으며, 거의 완전하다고 여겨지는 결정. 이것을 거의 완전한 결정(nearly perfect crystal)또는 무전위결정이라고 한다. 광학적으로는 무전위결정은, 에칭법과 Lang법으로 볼 때, 전위가 검출되지 않는다는 점에서는 이것만 완전결정에 가깝다고 여겨진다. 그러나, 여전히 검출되지 않는 결함이 남아있다.
반/디 용어집특성용어검사
순차적 패턴발생기 SQPG - sequential pattern generator
논리소자의 시험에 있어서 미리 저장된 어떤 진리표의 입력과 기대값 데이터의 테스트패턴을 순차적(sequential)으로 발생시키는 발생기. 간단한 시퀀스(straightforward sequence)에 루프명령과 분기명령을 조합하여 다양한 패턴을 발생시킬 수 있다.
반/디 용어집사공정디버그
배관접합기술 - pipeline jointing technique
수지배관의 접합법으로써는, 접착제에 의한 접한 및 열용착에 의한 접합이 있으며, 후자는, 소켓식열용착 및 배트식열용착으로 나뉜다. 배관재료에 대해서 내열성과, TOC 용출이 적어 열용착에 의한 접합이 주류가 되고 있으며, 내면의 미끄럼이 양호한 배트식 열용착법이 점점 많이 사용된다.
반/디 용어집설비․환경공정물
선형검사시스템 아날로그검사시스템 - linear test system analog test system
선형 IC(OP Amp, 레귤레이터, 비교기, 오디오 IC, 비디오 IC 등)의 전기특성을 측정하는 장치.
반/디 용어집사공정디버그
습식배기처리장치 - wet type exhaust gas abatement equipment
반도체제조장치 등에서 배출되는 유해가스를, 약액과 물을 이용하여 무해화하는 장치. 액체를 이용하므로 습식이라 부른다. 충전탑과 스프레이탑 등의 스크러버와 기포탑 등이 해당된다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
빔 제어 - beam control
일차전자빔의 주사를 회전 및 편향하여, 주사형 전자현미경(SEM)의 회전, 이동제어기와 함께, 전자광학계의 대물렌즈의 여자전류를 제어하여 빛을 한 점으로 모으는 것.
반/디 용어집사공정디버그
소스캐비넷 - source cabinet
산화장치, 열확산장치, CVD장치 등에 있어서, 산화막형성, 불순물확산, 박막형성의 반응에 필요한 소스(주로 가스)를 공급하기 위한 시스템을 넣어 두는 캐비넷. 가스배관, 밸브, 유량계측기(flow meter), 유량제어기(mass flow meter) 등이 수납된다.
반/디 용어집산화장치웨이퍼처리공정
슈퍼버퍼 메모리 SBM HBM - superbuffer memory high speed buffer memory
테스트패턴 메모리에 한번에 수납할 수 없는 장대한 LSI패턴에 대하여, 패턴전송의 오버헤드의 경감을 목적으로 한 서포트메모리(support memory).
반/디 용어집기본․공통사공정
스핀모터 회전수 - rotation speed
스핀도포기, 스핀디벨로퍼에 있어서 웨이퍼를 회전시키는 모터의 회전수를 가리키며, 일반적으로 [rpm](또는[rad/s])로 표현한다. 스핀도포를 할 때, 레지스트 막두께는 회전수에 의존하기 때문에 회전수의 안정이 막두께의 균일성, 재현성에 매우 중요하다.
