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블레이드인장 - tensioning the blade

내주도식 절단기의 장력헤드에 ID 블레이드를 설치하며, 나사조임식 또는 유압식 등의 인장(잡아당김)방법으로, 그 블레이드에 적당한 인장량(반경의 인장량)과 블레이드 텐션을 확보하는 것. ID 블레이드의 내경(inner diameter)의 동심도(同心度)를 현미경 또는 다이아게이지 등으로, 확인하면서 잡아당겨 올린다.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
수변저설비 - electrical transmission and distribution systems

전력회사에서 전력을 공급받아, 각 전기부하를 전압종류별로 변환시켜, 이차측으로 전송하는 설비. 설비는 변압기 단로․과전류보호장치. 이차배선용차단기(breaker) 등으로 구성된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
수직축회전테이블형평면연삭반 - vertical spindle rotary table surface grinding machine

회전운동하는 원형 테이블을 가진 입축평면연삭반. (웨이퍼절단후의 평면연삭 또는 소자가 만들어진 웨이퍼의 뒷면연삭(back grinding)에 사용된다.)

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
엔드리스밴드톱 - endless band saw

얇은 링 모양의 대강 한쪽에 다이아몬드를 고착한 엔드리스밴드톱을 사용하여, 막대 모양의 재료를 절단하여 얇은 파을 제조하는 기계.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
식각균일성 - etch uniformity

식각되는 재료간의 식각속도의 차이. 웨이퍼 안의 균일성에 대하여는 보통, 그림에 표시된 웨이퍼의 중심을 포함한 개의 측정점에서의 식각속도에서, 최대값․최소값 또는 편차를 이용하여 다음 식에 의해 구해진다. 1) 최대값․최소값에 의한 경우 C1223 2) 최대값․최소값․평균값에 의한 경우 C1223-2 3) 편차에 의한 경우 C1223-3 C1223-4 C1223-5 웨이퍼간 균일성에 의하여는, 각 웨이퍼마다 개의 측정점에서 상가평균의 식각속도를 산출하여, 장의 최대값․최소값 또는 편차를 이용하여 윗식 (1), (2), (3)로 구한다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
습식식각 장치 - wet etching system

액상(液相) 상태로 웨이퍼 등을 식각하는 장치의 총칭.

반/디 용어집 웨이퍼 식각장치 웨이퍼처리공정
모래여과기 급속여과기 - sand filter rapid sand filter

응집침전장치에서 유츌되어 나오는 작은 프로그를 제거하는 장치. 중력식과 압력식의 2종류가 있어, 여과기의 여과층을 구성하여, 여과재로써는, 유효직경 0.45㎜～0.7㎜의 모래와 0.9～1.2㎜의 안스라사이트(입상무연탄)이 이용되고, 지지재로써는 직경 2～40㎜의 사리(砂利)등이 이용되고 있다.

반/디 용어집 사공정 에싱
식각실 - etching chamber

식각처리를 하는 진공실. 일반적으로 처리실, 반응실, 또는 챔버라고도 한다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
모방방식면가공 - copy chamfering

형판 또는 모형을 따라, 웨이퍼의 바깥둘레, 위아래의 면가공연삭하는 방식. 외주(바깥둘레), 위아래 서로 다르게 모방하여 연삭한다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

탄성계수 - elastic modulus

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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