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개방순환식냉각수설비 - open circuit condensing (cooling) water system

냉각탑 또는 열교환기에 의해 냉각된 냉각수를 송수펌프로 반도체제조장치 등의 피냉각대상물로 보내고, 냉각후에는 수수(受水)조로 개방시켜, 환원펌프로 귀환시키는 송수방식의 냉각수설비. 피냉각대상물에 배압이 가해지지 않고, 시스템의 최고압력도 낮게 된다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
검출분해능 - detection resolution

결함과 이물의 크기가 식별가능한 최소값

반/디 용어집 기본․공통 검출분해능
2상3탑형순수장치 2B3T형 순수장치 - two bed three tower deionizing equipment two bed tree tower demineralizing equipment

양이온(cation)교환수지탑, 탈탄산탑 또는 진공탈기탑 및 음이온(anion)교환수지탑으로 구성된 복상식순수장치.

반/디 용어집 2상3탑형순수장치_2B3T형_순수장치 설비․환경공정
결정방위 - crystal orientation

결정축을 기준으로 하여 미러 지수 또는 미러-브라웨지수로 나타나는 결정고유의 방향.

반/디 용어집 기본․공통 결정방위
고주파 플라즈마 CVD장치 - RF plasma enhanced CVD system

저압상태에서, 반응성가스의 고주파 글로우방전분해에 의해 박막을 형성하는 CVD장치. 반응실의 외측이나 내측에 설치된 대향전극 사이에 고주파를 걸어 플라즈마를 발생시키는 용량결합형 플라즈마CVD장치와, 석영반응관의 외측에 감긴 코일에 고주파전압을 걸어 플라즈마를 발생시키는 유도결합형 플라즈마CVD장치가 있다.

반/디 용어집 CVD 장치 고주파 플라즈마 CVD장치
고정연마입자 - bonded abrasive

결합제 등으로 대금 등에 접착 고정된 연마입자 및 비트리파이드 연삭연마기 등의 유형연마기에 사용되는 입자형태의 총칭.

반/디 용어집 기계가공 고정연마입자
냉각수관리 - cooling water control

냉각수의 수온, 압력, 도전률 등을 검지하여, 일정한 기준으로 유지시키기 위한 관리시스템

반/디 용어집 청정실 cooling water control
공집점현미경 - confocal microscope

광원에서 입사한 빛을, 미소하게 개구를 조여서, 재료투과광 또는 시료에서 반사시켜 결상면(結像面) 위의 빔홀을 통하여 검출하는 현미경. 시료 또는 입사광을 이차원적으로 주사하여 상(像)을 형성한다. 마스크의 미소선폭 측정등에 사용되고 있다.

반/디 용어집 검사장치 confocal microscope
다이 피치 - die pitch

서로 이웃한 다이의 중심점 사이의 피치

반/디 용어집 다이 피치 노광․묘화장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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2상3탑형순수장치 2B3T형 순수장치 - two bed three tower deionizing equipment two bed tree tower demineralizing equipment

결정방위 - crystal orientation

고주파 플라즈마 CVD장치 - RF plasma enhanced CVD system

고정연마입자 - bonded abrasive

냉각수관리 - cooling water control

공집점현미경 - confocal microscope

다이 피치 - die pitch

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