반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

노광제어계 - exposure control system

노광을 위한 제어계. 패턴데이터의 전송수단․기억수단․데이터변환수단(실시간)․묘화패턴의 발생수단 등의 하드웨어 및 이것들을 총괄 제어하는 소프트웨어로 이루어져 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 노광제어계
다결정 폴리크리스탈 - polycrystal

결정구조 주기가 부분적으로만 유지된 결정. 작은 결정의 집합체. 결정성장에 사용하는 소재.

반/디 용어집 결정성장 다결정 폴리크리스탈
대역용융법 - zone melting method

존레벨링(zone leveling), 존 정제 등으로, 평형에 가까운 상태를 유지하는 재료의 일부만을 용해시킨 존(zone, 대역)으로 하고, 이것을 이용하여 정제하면서 단결정을 만드는 방법. 존 멜팅(zone melting)법이라고도 한다. 현재는 많은 화합물반도체결정의 제작에 사용되고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
고전압리소그래피 - high voltage lithography

비교적 에너지가 높은 전자빔(보통, 50KV 이하)을 이용하여 패턴을 묘화하는 것. 레지스트 내에서의 전자빔의 산란효과를 감소시키기 위한 해상도가 높은 레지스트 상을 형성할 수 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
더미사이클 - dummy cycle

IC의 기능검사에 있어서, 피측정디바이스의 측정에 직접적으로는 의미가 없는 테스트사이클.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
공정복합화 - process integration

공정개발에 대한 투자억제를 고려한 결과, 반도체제조장치내에 일정한 조건과 환경에서 몇 개의 공정을 연결하고 처리를 반복해, 같은 웨이퍼 위에서 여러 공정을 하는 것으로 생산효율을 높이는 기술. 예를들어, in-situ에서 식각과 스퍼터링 등의 일련의 처리를 시행하면서 회수하는 멀티챔버장치 등이 권장되고 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
동축마그네트론스퍼터링장치 - coaxial magntron sputtering system

음극와 양극이 동축(同軸)원통 모양의 구조를 갖는 마그네트론 스퍼터링장치. 중심에 있는 원통 모양의 타겟 내부에는 원통 모양의 자석이 여러 개 들어가 있으며, 타겟표면과 평행한 자계가 발생하여 마그네트론 방전을 유지한다. 음극과 양극의 배치가 역전된 역동축(逆同軸)마크네트론 방식도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
다크조건 - dark condition

촬상소자에서 수광부로 빛을 조사하는 것이 완전히 차단된 상태에서 암전류(暗電流)와 흰 얼룩 등의 측정을 실시하기 위한 조건.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
로터리 척 - rotary chuck

위상시프트마스크를 제작할 때에 필요한 첫 번째 층의 노광과 두 번째 층의 노광의 회전방향의 부정합을 교정하는 기능을 가진 척

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

노광제어계 - exposure control system

다결정 폴리크리스탈 - polycrystal

대역용융법 - zone melting method

고전압리소그래피 - high voltage lithography

더미사이클 - dummy cycle

공정복합화 - process integration

동축마그네트론스퍼터링장치 - coaxial magntron sputtering system

다크조건 - dark condition

로터리 척 - rotary chuck

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!