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마스크홀더 - mask holder

마스크의 묘화(printing), 검사할 경우에, 높은 정밀도를 얻기 위해, 각 장치내에 마스크를 소정의 위치에 정확하게 유지시키기 위한 장치. 일반적으로, 온도변화에 의한 팽창․축소, 기계적인 왜곡같은 결함이 발생하지 않도록 설계된다. 마스크 카세트라고 부르기도 한다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
렌즈디스토션 - lens distortion

투영광학계에서 가능한 상의 화면 왜곡 수차, 대표적인 것으로써 사권(絲卷)형과 준(樽)형이 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
레지스트 박리장치 - resist stripping system

불필요하게 된 레지스트막을 웨이퍼 위에서 제거하는 장치.

반/디 용어집 애싱장치 웨이퍼처리공정
건조장치 - dryer

폐수처리에서 발생하는 오염먼지 등의 수분을 열에 의해 증발시키는 장치. 수분을 제거하여 오염먼지의 용적을 감소시키고, 운반 및 최종처분을 용이하게 하거나, 소각처리를 용이하게 하는 것을 목적으로 한다. 기류건조방식, 종형다단방식, 유동층방식, 로터리킬링방식 등이 있다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
마킹강도 날인강도 - marking strength

잉크가 워크에 부착되는 강도. MIL규격과 내약품성, 내열성 등으로 평가한다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
리지 솔기 - ridge seam

무전위결정성장시에 발달하는 결정외형의 돌기.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
고상 에피택셜 성장장치 - solid phase epitaxial growth system

단결정 웨이퍼 위에 다결정 또는 비결정층(amorphous layer)을 열처리하여 단결정층을 성장시키는 장치.

반/디 용어집 에피택셜 성장장치 웨이퍼처리공정
리프레시 기능 - refresh function

DRAM 기능시험 중에 임의의 간격(interval)로 메모리의 기억유지동작을 실행하는 기능.

반/디 용어집 사공정 refresh function
디게이팅 - degating

수지성형 후, 브레이킹(braking)으로 게이트부분의 러너(runner)를 제품의 리드프레임에서 분리하는 것.

반/디 용어집 패키지 조립공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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디게이팅 - degating

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