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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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테스트사이트 - test - site

피측정디바이스를 검사하기 위하여 정지시킨 후, 콘택트와 접속하는 부분의 총칭

반/디 용어집 사공정 핸들링
자동배기장치 - automatic exhaust air mechanism

번인 중 또는 번인 종료 후에 있어서 피측정디바이스에서의 발열 및 챔버 안에 축적된 열을 자동적으로 챔버 밖으로 배출하여, 챔버온도를 제어하는 장치.

반/디 용어집 사공정 에싱
집속반각 - angular aperture

기판 위에서 최종단렌즈까지의 개구의 직경을 바라볼 때, 측정되는 각도의 절반

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
패러데이계 (系) - Faraday system

서플렉션 전극, 전류적분기(current integrator)에 연결된 패러데이컵과 타겟으로 구성되어 있으며, 타겟에 입사하는 이온빔의 전류량을 검출하는 계(system). 방출되는 이차전자를 전자서플렉서로 패러데이컵에 되돌려주기 때문에, 전류량측정시 오차가 발생하지 않는다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
휘스커 - whisker

웨이퍼표면에 줄무늬 모양으로 나타나는 결함.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
잡샵 - job shop

같은 기능의 제조장치군을 모아 배치하는 제조장치 배치법. 공정순서에 따라 배열되지 않기 때문에 운반하는 데 있어서 불리하지만, 웨이퍼처리공정과 같은 반복적이고, 택트가 다른 장치를 이용할 경우, 작업성, 공간적인 면에서 유리하다. 베이시스템(bay system)에서는, 각각의 베이에 같은 기능의 장치군을 배치하고 있어, 본 형식의 전형이 된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
포토리피터 - photo repeater

레티클 패턴의 축소 투영상에 대하여, 포토 마스크를 중복해서 스텝(step)시켜서 노광하는 축소 투영 노광장치.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
자동온도제어시스템 - automatic temperature controller

성장중인 단결정의 질을 높이기 위한 자동온도제어시스템. 실제의 장치에서는 히터온도, 가열전력 등을 제어하는 간접온도제어방식 또는 용융액표면의 온도를 적외방사온도계 등으로 직접 계측하여 디지털온도제어방식이 이용된다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
표면오염 - surface contaminat - ion

웨이퍼의 표면에, 가공정밀과 디바이스 특성에 악영향을 주는 물질이 부착되는 것. 표면에 부착된 입자, 유기분자, 금속불순물과 더불어, 최근에는 자연산화막도 세정 대상에 포함된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

테스트사이트 - test - site

자동배기장치 - automatic exhaust air mechanism

집속반각 - angular aperture

패러데이계 (系) - Faraday system

휘스커 - whisker

잡샵 - job shop

포토리피터 - photo repeater

자동온도제어시스템 - automatic temperature controller

표면오염 - surface contaminat - ion

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