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COP - crystal originated particle

Si의 CZ결정 웨이퍼를 SC-1세정하면, 표면결합측정기에 의해 마치 0.1～0.2㎛의 입자가 존재하는 것처럼 미소한 피트가 보인다. 보통의 광산란방식의 장치에서는 실제 입자와 식별 불가능한 것을 COP라고 부른다. 결정(結晶)을 끌어올리는 조건에서 발생 정도에 영향받아, SC-1 세정을 반복하며 증가시키 때 생기는 일종의 결정결함을 식각한 흔적으로 생각되고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
휨 보정 - fluxure compensation bow compensation

마스크의 자체의 무게로 마스크 지지부 위에 휜 성분만을 보정하는 것. A: 마스크가 원래 가지고 있는 휜 성분 B: 마스크 자체의 무게에 의해 휜 성분 C: 지지점 위의 마스크가 휜 성분

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
푸리에변화적외분광법 FT - IR - Fourier transform infrared spectro - scopy

2광속(光束) 간섭곡선을 푸리에변환하여 스펙트럼을 구해, 실리콘웨이퍼 중의 산소, 탄소 등을 측정하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
폐액자동처리장치 - waste fluid separator

약액 또는 순수를 배출할 때, 성분내용과 오염정도에 따라 구분하여 배출하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
히트블럭 히트플레이트 - heat block heat plate

본딩디바이스를 가열하는 블럭.

반/디 용어집 조립공정 본딩
전자총 - electron gun

전자를 방사해, 빔 형상으로 집속시키는 장치. 열전자방출형․전계방사형․열전계방사형의 세가지 형이 있고, 모두 다 캐소드(cathode), 웨넬트(또는 인출전극), 애노드(anode)의 세가지 전극으로 구성되어 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
Mn퓸프리 STS316L - Mn fume free STS316L

스테인레스강 중에 함유되어있는 망간, 인, 유황 및 탄소등을 극한 까지 줄이는 STS316L재. 특히 용접시에 발생하는 증기압의 높은 Mn퓸의 발생이 억제되어, 부식성가스의 공급배관재료로써 유효하다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
TDDB시험 산화막시변파괴시험 - time dependent dielectric breakdown test

절연파괴전압 이하의 전압을 계속 인가하면, 곧 파괴되는 게이트산화막의 수명시험.

반/디 용어집 사공정 에싱
헬륨리크디텍터 - hellium leak detector

공기밀봉된 패키지의 공기밀봉도를 헬륨가스를 추적가스(tracer gas)로 시험하는 장치. 패키지를 기밀용기에 넣어 헬륨가스를 주입․가압하여 일정시간 유지한 후 꺼내어, 진공용기 중에서 헬륨가스의 유무를 헬륨검사기로 판정한다.

반/디 용어집 조립공정 검사평가

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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전자총 - electron gun

Mn퓸프리 STS316L - Mn fume free STS316L

TDDB시험 산화막시변파괴시험 - time dependent dielectric breakdown test

헬륨리크디텍터 - hellium leak detector

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