두 개의 같은 결정이 특정한 면 또는 축에 관하여 대칭으로 배열되어 있는 결정상태. 쌍정에는 크게 두 개의 요소가 있어, 대칭조작이 어느 축에 관하여 180°의 회전인 경우(회전쌍정)과, 어떤 면(쌍정면)에 관하여 거울반사인 경우(반사쌍정)이다. 쌍정결정 중에서 두 개의 부분을 나누어 주는 경계면을 쌍정경계라고 한다.
반/디 용어집특성용어검사
복수 스테이션 동기시험 - multi - station synchro - nous probe test
두 대 이상의 테스트헤드를 갖는 테스트시스템에서 여러 장의 웨이퍼를 동시에 측정하는 경우에, 항상 각 웨이퍼의 동일 위치(location)의 칩을 동시에 시험하는 것.
반/디 용어집기본․공통사공정
부착입자오염 - surface contamination by particulate
물체의 표면이 입자에 의해 오염되는 것, 또는 오염된 상태. 물체표면에의 부유미립자의 부착은 정전기력(쿨롱의 힘), 중력, 브라운확산 등이 관여하지만, 2㎛이하의 미립자에는 오로지 정전기력 뿐이다.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
실시간 구제판정기능 - real - time redundancy judgement function
테스트를 실행하는 중에, 실시간으로 용장회로에 부가된 메모리디바이스의 불량구제판정을 하는 기능
반/디 용어집사공정디버그
방진매트 접착매트 - sticky mat
신발바닥에 붙이며, 미립자를 제거하기 위해 접착성을 높이 매트
반/디 용어집청정실설비․환경공정
식각장치 - etching system
웨이퍼 또는 웨이퍼표면 위에 형성된 박막의 전면 또는 특정 장소를 필요한 두께만큼 식각하는 장치.
반/디 용어집웨이퍼처리공정
번인타이머 - burn - in timer
번인시간조정 타이머, 번인 시작 후, 번인이 종료될 때까지 시간을 설정한다.
반/디 용어집사공정에싱
빠른 덤프 린스 - quick dump rinse
순수세정조에서 배수와 급수를 빠르게 여러 번 번갈아 가며 순수세정하는 방법.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
성장무늬 - striation
단결정이 성장할 때, 성장조건에 따라 거의 주기적으로 변동하므로 발생하는 부분적인 결정결함.