반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

블레이드 변위계 - blade deflection sensor

반도체 제조용 절단기에 사용되는 얇은 판 절단용 공구(blade)의 절단중 변위를 측정하는 장치.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
블레이드원점조정 - blade height calibration

웨이퍼테이블면에 블레이드를 접촉시켜, 블레이드의 기준높이를 설정하는 것. 블레이드에 데미지가 없고, 광빔을 사용한 블레이드끝부분의 높이 검지기능도 있다.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
쓰기에러 지우기에러 - write error erase error

비휘발성 반도체메모리(플래시메모리 등)에 있어서, 쓰기(write) 와 지우기(erase)를 한 번 실행한 후의 값이, 검증된 기대값과 일치하지 않는 것.

반/디 용어집 사공정 에싱
스텝식 투영노광 장치 스테퍼 - stepping projection aligner stepper

마스크 패턴(레티클 패턴)의 투영상에 대하여 웨이퍼를 반복 스테핑(stepping)하여 노광하는 투영노광장치. 스텝식 투영노광장치의 총칭을 스테퍼라 한다. 사용하는 노광광원에 의해, g선 스테퍼, ⅰ선 스테퍼, 엑시머레이저 스테퍼로 구별하여 부르는 경우도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
불산모니터 - hydrogen fluride monitor

웨이퍼세정에 이용하기 위한 초순수로 희석된 불화수소산의 농도감시용모니터. 측정방법은, 불소수지몰드제의 전자유도식 도전률전극을 이용하여 검출한다. 측정범위는 0～5%이다. 불산수지에는 먼지가 적게 일어나는 PFA를 이용한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
애싱 - ashing

포토리소그래피의 마지막으로 웨이퍼 위의 레지스트를 제거하는 것. 습식박리와 건식박리로 나뉘며, 보통 건식박리장치를 애싱장치(asher)라고 한다.

반/디 용어집 애싱장치 웨이퍼처리공정
어닐균일성 - annealing uniformity

어닐링에 의해 처리한 웨이퍼 면내(面內)와 면간(面間) 온도의 부정합. 열전대를 이용하여 웨이퍼의 온도를 직접측정하거나, 이온주입 후에 시드저항을 측정하여 어닐균일성을 구한다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
베이시스템 - bay system

작업반송과 유틸리티서비스, 메인터넌스(maintenance) 영역의 분리를 목적으로, 작업영역과 서비스영역을 서로 바꿔주는 것을 반복하는 베이(bay)형 배치시스템. 주로 웨이퍼처리공정에 이용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
생물탈질소장치 - biological nitrogen removal equipment

폐수 중의 질소성분을, 미생물에 의한 생물처리로, 질소가스단계까지 분해하는 장치. 보통, 질화 및 탈질소공정까지로 구성된다. 질화공정에는, 호기성 하에 질화균에 의해 암모늄이온을 질산이온으로 산화하고, 탈질소공정에는, 호기성 하에 탈질균에의해 질산이온을 질소가스로 환원된다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

CFL수 - Courant - Friedrichs...

블레이드 변위계 - blade deflection sensor

블레이드원점조정 - blade height calibration

쓰기에러 지우기에러 - write error erase error

스텝식 투영노광 장치 스테퍼 - stepping projection aligner stepper

불산모니터 - hydrogen fluride monitor

애싱 - ashing

어닐균일성 - annealing uniformity

베이시스템 - bay system

생물탈질소장치 - biological nitrogen removal equipment

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!