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원심 스프레이 세정장치 - centrifugal spray cleaning equipment

회전하는 로터에 탑재된 세정물에, 회전 중심축에서 세정액을 분무하여 세정하는 장치. 송액부(送液部)의 밸브를 바꾸어 세정액을 자유롭게 변경할 수 있어 세정물의 상태는 변하지 않고 일련의 세정처리를 완료할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
외관검사 - visual inspection

마스크의 패턴 결함과, 패턴의 모양, 유리표면의 흠, 오염, 얼룩 등을 검사하는 것의 총칭. 미세한 검사는 자동화되어 있으나, 거시적인 검사는 투광기, 슬릿램프(slit lamp) 등으로 경사광(傾斜光) 조명을 하는 육안 검사가 행해지고 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
일과식냉각수설비 - one pass condensing (cooling) water system

생활용수, 공업용수 등을 냉각하여 반도체제조장치 등의 피냉각대상물로 보내고, 냉각후에는 다른 용도의 물로 이용하거나 배출하여, 냉각수로는 재이용되지 않는 송수방식의 냉각수 설비. 다량의 물을 필요로 하기 때문에, 특수한 경우 이외에는 이용하지 않는다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
윗정반 - upper lapping plate

윗쪽에서 가공물을 눌러주는 도넛모양의 원판. 홈이 있는 것과 없는 것이 있고, 슬러리가 떨어지는 구멍이 뚫려 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 래핑장치-하드기능
입력렌즈 - input lens

셔터에서 나온 빛을 평행한 빛으로 바꾸어 간섭필터 또는 다른 렌즈로 전달해주는 렌즈.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
웨이퍼테스트 프로브테스트 EDS테스트 - wafer test probe test EDS test

웨이퍼 칩의 본딩패트 위에 프로브침을 접촉시켜 다이(die)의 전기적 시험을 실시하는 것. 이 웨이퍼테스트의 측정결과를 공정에 피드백하여 생산성에서 있어서 수율, 신뢰성의 확보와 동시에 다이의 양품․ 불양품을 선별한다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
원자간 인력 현미경 - atomic force microscope

접근하는 두 개의 물체간에는, 인력과 척력이 작용하는 현상을 이용하여, 가는 탐침을 시료에 근접시켜 기계적으로 주사하면서, 이것들의 힘을 검출하여, 시료표면의 원자분자레벨의 굴곡을 화상으로 보여주는 현미경.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
인터럽트 - interrupt

우리들은 일상 생활 속에서 하던 일을 멈추고 급히 또 다른 일을 처리해야 하는 경우를 자주 접하게 된다. 다른 사람의 대화에 급히 끼어 들어야 한다든지, 책을 읽다가 외부에서 걸려오는 전화를 받아야 하는 경우가 있는데, 이 때 우리는 전화를 받은 후 계속해서 책을 읽을 수 있도록 읽고 있던 부분을 표시해 둔다. 컴퓨터를 사용할 때도 이와 유사한 경우가 있는데, 미리 프로그램된 작업 뿐만 아니라 이의 수행 도중에 요구되는 또다른 작업을 우선적으로 긴급히 처리해 주는 것이 바로 인터럽트 기능이다. 인터럽트 기능은 프로그램에 의하여 순서가 부여된 명령의 실행 순서를 어떠한 조건에 의하여 중단하고 다른 프로그램을 우선적으로 실행하는 것으로, 실행되는 프로그램에 의해서가 아니라 그밖의 다른 것에 의해 발생되는 제어 흐름의 변경을 말한다. 이러한 인터럽트의 형태에는 외부 인터럽트와 내부 인터럽트의 2가지가 있다. 외부 인터럽트란 프로그램을 실행중인 CPU에 외부로 부터 요구되는 일을 시키기 위해서 현재 진행하고 있는 일을 중단시켜 놓고 또 다른 작업을 우선으로 실행시키는 것으로 하드웨어 인터럽트라고 한다. 반면에 내부 인터럽트는 프로그램 중의 명령에 의해서 하드웨어 인터럽트에 의해 발생되는 일련의 작업과 비슷한 처리를 행하는 것으로 소프트웨어 인터럽트라고도 한다. 이와 같은 인터럽트 기능으로 말미암아 컴퓨터는 예기치 않은 상태가 발생하더라도 중단없이 이에 대처할 수 있는 것이다.

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인터넷

Internet. 세계 최대의 컴퓨터 통신망. 원래는 미국 국방부가 정보 공유를 위해 구축한 알파넷(Arpanet)에서 파생된 네트워크. 대학이나 기업의 연구소 등이 연구용도로 이용하다가 유저가 증가함에 따라 상용서비스를 개시했다. 유저수가 2000만여명, 접속 호스트가 200만대 이상에 이른다. TCP/IP 프로토콜은 인터넷의 프로토콜로 개발됐다. 인터넷에 연결된 모든 컴퓨터는 TCP/IP 프로토콜을 사용하기 때문에 서로 다른 컴퓨터 기종이라도 정보를 주고 받을 수 있다. 국내에서는 1994년 6월말부터 일반인을 대상으로 한국통신이 한국인터넷(KORNET)이란 이름으로 서비스하고 있으며, 데이콤, 나우콤 등도 인터넷서비스를 제공할 예정이다.

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