저항률ρ의 반도체 중에 점접촉하는 침 끝에서 전류가 넓게 확산되어 흐를 때 발생하는 전압강하는 I․Rs로 되고, 이 Rs를 확산저항이라고 한다. 전류는 침끝에서 반도체 중에 급속하게 확산되기 때문에, 전압강하는 대부분 침의 접촉면 근방에서 발생한다. 이 원리를 이용하여, Si 웨이퍼의 표면근방의 저항률을 측정하는 방법.
반/디 용어집물성검사장치검사
프리웨이퍼 테스트 프리테스트 - pre - wafer test
용장회로(redundant cell)를 갖는 메모리디바이스의 웨이퍼테스트 공정에서, 특히 불량구제처리를 하기 전의 테스트를 가리킨다.
반/디 용어집기본․공통사공정
잡 데이터 잡 데크 - job data job deck
다이(칩)의 배열, 묘화 모드. 도즈(dose)량 등의 노광조건, ID문자, 묘화 순서 등 묘화하기 위한 작업지시 데이터.
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
Secco 에칭 - Secco etching
실리콘단결정의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것의조성은 HF:K2Cr2O7=2:1의 약품으로 면방위<100>의 결정에 적용되는 액의 조성을 갖는다.
반/디 용어집검사표면 결함․이물검출
표면파 플라즈마 - surface wave plasma
플라즈마의 표면에 유기된 표면파에 의해 주로 생성되는 플라즈마. 전형적으로는 유리관을 따라 생성된 길이가 긴 플라즈마. 최근에는 대면적플라즈마의 생성에 표면파 플라즈마를 적용하려는 시도도 있다. 또, 유전체선로로 전파되는 표면파의 누설 전기장에 의해 생성되는 플라즈파를 표면파 플라즈마라고 부르는 것도 있다.
반/디 용어집건식식각장치웨이퍼처리공정
채팅, 대화방 - Chatting
미국 네트매니지사의 PC용 TCP/IP 소프트웨어.
통신 용어집
LAT
local area transport
통신 용어집
SQL
릴레이셔널 데이터베이스용의 데이터 조작언어. ANSI(미국규격협회), ISO(국제표준화기구)에서 표준화하고 있다. 표 형식의 데이터베이스를 대상으로 조건을 충족시키는 행이나 열의 항목을 검색할 수 있다. 삽입이나 삭제, 갱신도 가능하다.