내측리드, 외측리드 또는 칩상의 패드의 배열 간격이 아주 작음을 표현하며, 일반적으로는 패드의 배열피치가 70μm이하인 경우를 말함
반/디 용어집조립공정기본․공통
신호수순
SVC 실행시 ATM 단말기가 실행되는 순서. ATM의 경우는 상대방의 어드레스나 상대방과의 사이에 확립되는 커넥션 대역과 품질을 ATM 스위치에 전달하기 위해 사용한다.
통신 용어집신호수순
불화탄소회수장치 - fluoro carbon recovery system
불화탄소류의 흡착제에 흡착시켜, 탈리, 액화, 정제 등을 실시하는 장치. 전체를 그 자리에서 처리하는 온사이트형과, 흡착제에 농축된 것을 회수하여 각각의 처리장소에서 후공정으로 처리하는 오프사이트형이 있다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
삼층테이프 - three layer tape
테이프캐리어에서 테이프의 구조가 배선용도체, 지지체로써의 수지 및 접착제층의 세 층으로 이루어진 것.
반/디 용어집조립공정본딩
센트럴리티 - centralty
기판 중심과 다이 배열의 중심과의 부정합. 오프센터(off-center)라고도 부른다.
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
서비스영역 - service area
반도체장치본체가 설치되어 있는 구역. 장치에 공급되는 전기, 물 약품 등, 또는 배수, 배기 등의 배관, 덕트(duct)류가 설치된 백업영역도 있으며, 또 메인터넌스를 실시하는 작업영역도 있다. 웨이퍼가 이 영역의 공기에 직접 접촉하지 않기 때문에, 비교적 저청정도로 설정된다.