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석영관 세정장치 노심관 (爐心管) 세정장치 - quartz (furnace) tube cleaning equipment

확산처리와 CVD에 사용되는 석영관을 세정하는 장치. 수평형과 수직형이 있고, 일반적으로 식각(불소 사용), 순수세정, 건조의 처리를 행한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
시임용접장치 - parallel seam rsistance welding equipment

시임용융에 의한 금속제 패키지의 베이스와 캡을 밀봉하는 장치. 롤러전극을 이용하여 압력을 가하거나 전기를 통하게 하여 연속적으로 용접한다.

반/디 용어집 패키지 조립공정
복잡 명령 세트 컴퓨터 - CISC

회로에서 '회'는 '돌아온다'는 뜻이고 '로'는 '길'이라는 뜻이다. 즉 일방통행처럼 가버리면 그만인 길이 아니라 서울의 지하철 2호선(순환선)과 같이 나갔다가 돌아올 수 있는 길을 의미하는 것이다. 우리는 전기회로라는 말을 익히 들어왔다. 지금 말한대로 회로의 의미를 전기회로에서 생각해 보면 전류, 즉 전기의 흐름이 밖으로 나가서 다시 돌아오는 것으로 이해하면 될 것이다. 그런데 중요한 사실은 전류는 빈손으로 나가서 빈손으로 돌아오지 않는다는 것이다. 전류는 분명히 전기의 성질을 가지고 있으므로 빈손이 아니다. 그럼 이 전류는 왜 나가는 것일까? 무엇인가 필요에 의해서 나가는 것이다. 전류가 회로를 따라 밖으로 나가면서 회로 사이 사이에 있는 저항이나 트랜지스터, IC와 같은 부품에 전기를 주고 다시 돌아오게 되는 것이다. 이미 여러분도 알고 있는 이야기지만 이렇게 전류가 자신의 임무를 마치고 무사히 돌아오는것-회로-을 전기가 통한다고들 하지 않는가.

통신 용어집 circuit
스트링거 피켓 펜스 - stringer picket fence

단차가 심한 상층막을 이방성 식각할 때, 하층막의 옆면에 상층막의 일부가 벽처럼 남아있는 잔재(residue material). 이것을 없애기 위해서는 오버에칭을 하거나, 추가적인 식각이 필요하다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
스폿노광수정장치 - spot - beam exposure repair system

레지스트를 도포한 마스크에 점 모양의 자외선을 조사하여, 마스크의 백결함을 수정하는 장치. 결상광학계를 이용하여 파일럿광(光)으로 수정위치를 확인하고, 개구상을 마스크 위에 결상시킨 레지스트를 노광하여, 리프트온법에 의해 수정하는 것.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
반응성이온 (스퍼터) 식각장치 RIE 장치 - reactive ion (sputter) etching system RIE system

반응성가스 플라즈마를 이용한 건식식각 장치에서, 웨이퍼를 식각실내에 설치된 전극 위에 올려놓고 식각하는 장치. 웨이퍼는 중성라디칼과 반응성가스 이온의 상승효과로 식각된다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
성형개구 - shaping aperture

성형빔 방식의 전자빔 묘화장치에 있어서, 전자빔을 원하는 형상으로 만들기 위한 일종의 개구.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
블레이드 - blade

반도체제조용 절단기에 있어서 사용되는, 얇은 판을 절단하는 공구. ID 블레이드, OD 블레이드, 띠 블레이드 등이 있다.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
배수회수처리장치 - waste water reclamation system

공장의 유즈포인트에서 배출되는 배수의 경우, 비교적 오염이 적은 배수 등을 회수하여, 공장 안에서 재이용하는 것을 목적으로 배수를 처리하는 장치. 무기이온을 제거하기 위한 이온교환장치. 역침투장치 및 유기물을 제거하기 위한 활성탄흡착, 자외선산화, 생물처리장치 등으로 구성되어 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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성형개구 - shaping aperture

블레이드 - blade

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