반도체 디바이스 제조에 있어서 반드시 필요한 열처리 공정에서 사용되는 열처리 장비는 웨이퍼 전체의 온도를 균일하게 유지하고 측정하거나 제어하는 능력이 우수해야 합니다. 특히 온도를 상승 및 하강할 때 웨이퍼의 원주 부분이 내부보다 온도가 일반적으로 낮아질 경우 이러한 웨이퍼
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9
유동해석 열처리
반도체 공정에 사용되는 장비의 특성상 운행 시 진공펌프를 이용해서 항상 내부 진공상태를 유지합니다. 일반적인 압력 팽창과 반대 방향으로 진공압이 작용하며 이를 어떻게 해석 검증할 수 있는지 트랜스퍼 챔버 예제와 함께 알아보도록 하겠습니다.
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6
반도체장비 안전율
구조물의 처짐과 같은 사용성의 문제나 지진이라는 불가해 영역에서 사용자들은 안전성에 대한 많은 불안감을 가지게 됩니다. 그래서 우리는 수치상으로 과연 어느 정도의 안전성을 가지는지 확인해보는 것이 중요합니다.
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10
구조해석 선형정적해석
웨이퍼 번인 검사 장비는 반도체의 초기 불량을 제거하고 제품의 신뢰성을 높이기 위한 장비입니다. 높은 온도에서 작동하는 장비 내부의 기체 흐름을 파악하고 최적화하기 위한 설계 방안에 대해 알아봅니다.
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7
wafer검사장비 CFD
증착코팅 장치는 공정을 위해 고온환경에 항상 노출되며, 기밀유지 및 열변형의 문제 방지를 위해 환경에 대한 구조물의 열분포를 확인해야 합니다. 이번 예제에서는 운영환경에서 PECVD 장치 커버에서의 온도분포와 열변형을 해석검증 방법에 대해 알아보도록 하겠습니다
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9
열변형 온도분포
실내 설치되는 통신장비들은 24/7 상시 운영되며, 운영 조건에 따라서 반복적인 주변 환경진동에 노출되어 있습니다. 이번 예제에서는 통신장비들에 반복적인 진동하중에 대해 과연 내구안전성이 확보되었는지 주파수응답해석을 통해 검증하는 방법을 알아보도록 하겠습니다.
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공진 주파수응답해석
장비 내부 유동 흐름 및 유동 손실 최소화 방안을 해석을 통해 알아볼 수 있습니다. 발열소자를 중심으로 온도 및 기구적 풍량 분포를 파악하여 효과적인 방열구조의 도출 목적입니다.
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기류해석 통신시스템
기존의 공랭식, 수냉식과 같은 강제냉각 방식 외 이슈가 되고있는 자연냉각 방식에 대한 해석 방법을 알아봅니다.
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복합열전달 자연냉각방식
야외에 설치되는 모든 구조물은 인명피해가 발생할 수 있는 태풍재해 위험에 항상 노출되어 있으며, 구조 안전성 검증은 필수로 요구하게 됩니다. 이번 예제에서는 옥외에 설치되는 안테나 구조물에 대하여 해석 검증 기법으로 검증하는 방법에 대해서 알아보도록 하겠습니다.
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10
통신설비 태풍
반도체 wafer 수율 향상을 위해 기류해석 및 복합열전달 해석을 진행하여 균일도 평가 및 성능 예측이 가능합니다.
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wafer검사장비 균일도평가
땅 위에 존재하는 모든 구조물은 지진 자연재해에 항상 노출되어 있고 내진안전성 검증에 대해서 필수로 요구하게 됩니다. 이번 예제에서는 기지국 BBU 통신서버랙 장비를 응답스펙트럼이라는 해석 검증 기법으로 검증하는 방법에 대해서 알아보도록 하겠습니다.
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응답스펙트럼 지진
환경조건에 맞는 냉각방식 선정 방법부터 설계인자 변경에 따른 최적의 방열성능을 위한 설계 방안 검토 방법 안내
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10
복합열전달 통신모듈장비
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