Topic : wafer검사장비

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  • CFD로 알아보는 웨이퍼 번인 검사 장비 성능

    웨이퍼 번인 검사 장비는 반도체의 초기 불량을 제거하고 제품의 신뢰성을 높이기 위한 장비입니다. 높은 온도에서 작동하는 장비 내부의 기체 흐름을 파악하고 최적화하기 위한 설계 방안에 대해 알아봅니다.

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    평점 :

    7

         wafer검사장비 CFD

  • Wafer 수율 확보를 위한 CFD 적용 방안과 반도체 장비 내부 공정 예측 보고서

    반도체 wafer 수율 향상을 위해 기류해석 및 복합열전달 해석을 진행하여 균일도 평가 및 성능 예측이 가능합니다.

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    평점 :

    9

         wafer검사장비 균일도평가
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