사이트 TIR의 하나로, 흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 뒷면을 교정한 상태에서, 각 사이트마다 측정할 때의 최대두께와 최소두께의 차.
반/디 용어집검사웨이퍼제공정
PUA - percent usable area
FQA의 속에서 평탄도규격을 만족하는 영역의 비율(%).
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최적피트면기준 - best fit plane reference
FAQ 안에 어떤 측정점을 사용하여 최소자승법으로 정해진 평면을 기준으로 하는 방법.
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초점면 - focal plane
노광장치에서 광학계가 초점을 맺는 면.
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평탄도적용영역 FQA - flatness quality area
주변부를 제외한 영역을 포함하며, 평탄도의 규격이 적용되는 영역.
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휨 - twist
흡착고정되지 않은 상태의 웨이퍼에 지정된 표면 위의 기준면과 웨이퍼표면과의 거리의 최대값과 최소값의 차.
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레이저마크 ID마크 - laser mark ID mark
레이저빔(Nd:YAG가 주류)를 웨이퍼 표면에 조사하여 열로 표면에 도트(구멍)을 만들어 형성된 마크(mark). 최저5(가로)×9(세로)의 도트매트릭스에서 OCR 영자 및 숫자를 인식하여 벤더(vendor)명칭, 랏(lot)번호, 특성 등의 웨이퍼식별정보(ID 마크)로 하여, 프로세스에서의 웨이퍼 트래킹, 제작관리 등에 사용된다. 도트 깊이는 절단 후에 하느냐, 폴리싱 후에 하느냐에 따라 다르다.
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글로벌 - global
주변부를 제외한 영역을 포함하는 웨이퍼의 전면. 이 영역을 대상으로 하는 평탄도를 글로벌 평탄도(global flatness)라고 한다.
