진공소제시스템 센트럴베이큠클리닝시스템 - central vacuum cleaning system
청정실 청소시의 먼지비산방지를 위해, 진공펌프, 집진장치 등을 청정실밖에 설치하고, 또 청정실 안에 설치된 흡입구와의 사이를 진공파이프라인으로 연결시켜놓은 중앙방식의 소제시스템
반/디 용어집청정실설비․환경공정
서비스영역 - service area
반도체장치본체가 설치되어 있는 구역. 장치에 공급되는 전기, 물 약품 등, 또는 배수, 배기 등의 배관, 덕트(duct)류가 설치된 백업영역도 있으며, 또 메인터넌스를 실시하는 작업영역도 있다. 웨이퍼가 이 영역의 공기에 직접 접촉하지 않기 때문에, 비교적 저청정도로 설정된다.
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청정도 청정도레벨 - cleanliness cleanliness level
청정한 정도. 공기의 일정한 부피속에 포함된 입자오염률의 크기별 수로 나타낸다. 또, 급이 매겨진 청정도의 정도를 청정도레벨이라 표시한다.
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청정도회복능 - cleanliness recovery characteristic clean down capability
청정실 안에서 얻을 수 있는 최대량의 오염물이 들어올 때, 청정도가 규정의 청정도레벨로 돌아오는 데 걸리는 시간
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플로우샵 - flow shop
제조공정에 따라 대응되는 제조장치를 순차배열하는 제조장치배치법. 운반효과가 양호하고, 라인화가 쉽다. 일반적으로 조립고정에는 본 형식이 채용되고 있다.
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집진감시반 중앙감시제어 - central monitoring and control system
중앙감시실 등에서 집중된 설비의 이동상황을 감시제어하는 시스템. 집중화에 의한 감시, 조작, 제어, 보수의 각 기능의 효율과 능력의 향상이 도모되며, 설비의 운용향상, 에너지절약 및 보전성과 신뢰성의 확보의 효과를 얻을 수 있다. 최근에는 컴퓨터를 사용한 기능분산형의 시스템이 많다.
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클린와이퍼 - clean wiper
청정실 안에서 사용되는 먼지가 적은 불식포(걸레). 청정하게 할 대상물에 따라 소재가 구분되어 사용된다.
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방진장갑 - clean glove dust free glove
작업자의 손에서 발생하는 미립자, 땀 등이 투과되는 것을 억제한 청정한 장갑. 나일론, 비닐, 고무 등의 소재가 사용된다.
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배기압력제어 - exhaust pressure control
청정실의 국소배기계에 있어서, 배기덕트내 압력을 검출하여, 배기팬, 공조기팬의 풍량을 제어하여 배기압력을 일정하게 유지하고, 소정의 제어풍속을 얻는 시스템
