전기, 연료, 물 등의 에너지자원의 소비를 줄이기 위해, 열회수, 외기량의 감소, 반송동력의 저감, 설비용량의 최적화, 기기의 고효율화 등의 대책이 실시되는 설비. 러닝코스트(running cost)의 저감에만 국한되지 않고, 사회적책무도 포함된다.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
면봉 - swabs
봉 끝에 면을 둥굴게 말아 붙였으며 작은 부분을 닦아 소제하는 소도구. 봉 끝에는 면 이외에 접착테이프 등, 다른 재료를 사용하는 경우도 있다.
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아이리드 - eyelid
청정실내 기류패턴의 조정, 자외선 차단 등을 목적으로, 천장에 매달려 밑으로 늘어선 패널. 파티션패널과 달리, 자유롭게 왕래할 수 있기 때문에 작업성 면에서 우수하다. 단지 미립자차단의 측면에서는 파티션패널과 커텐보다 열등하다. 청정실이 클 경우, 청정도영역구분에 이용된다.
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수변저설비 - electrical transmission and distribution systems
전력회사에서 전력을 공급받아, 각 전기부하를 전압종류별로 변환시켜, 이차측으로 전송하는 설비. 설비는 변압기 단로․과전류보호장치. 이차배선용차단기(breaker) 등으로 구성된다.
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에어타올 - air towel
HEPA필터를 통과한 청정한 온풍으로 손을 건조시키는 장치.
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아웃가스 - outgassing
재료에서의 가스방출. 청정실건축재, 각종제조장치에는 다양한 종류의 재료가 사용되고 있어, 재료에 의해서는 암모니아 등의 무기성가스, DOP 등의 유기성가스를, 장기간에 걸쳐 방출하여, 웨이퍼공정에 악영향을 미치는 것이 있다. 이 때문에 사용재료의 충분한 조치가 필요하다.
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실드룸 - shielding room
불필요한 전자장을 차폐한 방. 전자빔묘화장치용으로, 청정실내부에 설치된 것이 있다. 저주파수대에서는 파마로이 등 투자율의 큰 재료, 고주파에서는 구리, 알루미늄 등 전지전도도가 큰 재료를 차폐재로 사용한다.
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베이시스템 - bay system
작업반송과 유틸리티서비스, 메인터넌스(maintenance) 영역의 분리를 목적으로, 작업영역과 서비스영역을 서로 바꿔주는 것을 반복하는 베이(bay)형 배치시스템. 주로 웨이퍼처리공정에 이용된다.
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분산형공정입출력장치 - distributed process input output control equipment
공정단위에 분산설치되어, 공정에 대한 입출력신호처리, 제어연산처리를 실시하는 장치. 처리는 내장된 마이크로컴퓨터가 하고, 중앙에서의 관리의 집중, 말단부에서의 제어를 실현하여 전시스템에서 신뢰성과 응답성이 높다.
