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잉곳단면형상측정장치 - ingot end face bow measuring system

절단기에 있어서, 절단된 잉곳의 단면 형상을 측정하는 장치. 얇은 판에 절단한 반도체재료는 그 겉과 속의 가공이 불규칙하기 때문에 형태가 변하고, 형상판단이 어렵다. 그러나, 잉곳 단면은 절단흔적이 남아있어 형상판단이 가능하다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
웨이퍼 쉬핑박스 출하용기 - wafer shipping box

실리콘웨이퍼 제조업체에서 디바이스 제조업체로 웨이퍼를 전송할 때, 이용되는 용기. 300㎜ 웨이퍼에서는 표준화되어 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼제공정
열자극전류법 TSC - thermally stimulated current method

온도가 올라가는 것면서 트랩된 캐리어가 방출되어 발생하는 접합전류를 검출하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
워터폴리싱수연마 - water polishing

연마종료 직전에 연마제를 제거하고, 온도를 낮추기 위해 린스액만으로 폴리싱(水硏磨)하는 공정.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도
열처리로 - heat treatment furnace

잉곳(ingot) 또는 웨이퍼를 열처리하기 위한 장치. 결정직경의 증대와 함께 웨이퍼 상태에서의 열처리가 주류를 이루고 있다. 저항가열히터와 노심관을 가로로 배치한 수평형로과 노심관 및 저항가열히터를 세로로 배치한 수직형로가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 열처리
오리엔테이션플랫 - orientation flat

결정방위와 전도형의 판별 및 위치 정하기를 용이하게 하기 위해 잉곳 및 웨이퍼의 둘레에 어느 한 곳을 직선으로 한 면. 주(主)오리엔테이션 플랫과 부(副)오리엔테이션 플랫이 있다.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
이중도가니법 - double crucible method

CZ방법의 결점인 편석현상에 의한 결정저항률의 변화를 줄이기 위해, 석영유리제 도가니를 이중으로 하고, 그 사이를 가는 파이프로 연결하여 안 쪽의 도가니에서 결정을 끌어올리는 방법.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
인터널기어 내치치차 - internal gear

정반의 바깥 둘레에 위치하는 속 톱니 치차(內齒齒車).

반/디 용어집 웨이퍼제공정 래핑장치-하드기능
이단 휠 다단 휠 - two - stage wheel multi - stage wheel

한 개의 휠에 두 개의 연삭홈이 있는 휠. 보통 두 개의 휠의 모양은 다르게 되었다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정

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자주 찾는 용어

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

감쇠비 - damping ratio

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

CFL수 - Courant - Friedrichs...

유동박리 - flow separation

응력 - 변형률 선도 - stress -...

잉곳단면형상측정장치 - ingot end face bow measuring system

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열처리로 - heat treatment furnace

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인터널기어 내치치차 - internal gear

이단 휠 다단 휠 - two - stage wheel multi - stage wheel