마운트판에 웨이퍼를 접착시키지 않고, 연마하는 방식. 높은 마찰계수를 갖는 다공질 폴리우레탄포(布)에 올려놓는 방식과 진공흡착하는 방식 등이 있다.
반/디 용어집웨이퍼제공정폴리싱
연삭홈형성장치 - cross feed device
공작물에 연삭홈을 가하는 장치.
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
예비정렬 - pre - alignment
오리엔테이션 플랫(orientation flat)또는 노치(notch)를 일정한 방향으로 맞추어 주는 것.
반/디 용어집기계가공면가공장치-가공장치
와이어 릴 와이어보빈 릴 - wire reel wire bobbin reel
와이어톱에 사용하는 와이어를 감은 릴과 사용후 와이어를 감는 릴을 가리킴.
반/디 용어집기계가공절단장치-하드기능
유전위결정 - normal single crystal
주기성이 거의 결정전체에 걸쳐 유지되는 단결정. 그러나 결정내부에는 격자결함을 갖고 있으며, 에치 피트에서 10～106개/㎠ 정도의 전위가 있는 결정을 말한다.
반/디 용어집특성용어검사
와전류법 - eddy current method Foucault current method
무접촉으로 저항률을 측정하는 방법. 여진 코일로 검출하는 방법에 있어서, 공심코일을 이용한 경우의 판상시료의 시트도전률 와, 와전류 검출전압의 관계는 다음 식으로 주어진다. C630 여기에서 는 여기주파수, , 은 코일권수, 은 여진코일에 흐르는 전류, 은 계수, 는 코일반경이다.
반/디 용어집물성검사장치검사
잉곳 - ingot
일반적으로 용융액으로 응고한 고체의 덩어리 실리콘을 말한다. 실리콘 용융액으로 성장시킨 단결정을 실리콘 잉곳이라 한다.
