회전축과 고정테의 간극에 필요한 압력을 가하여 유체를 보대고, 회전축을 중립부상시킨 회전축수(baring). 유체 대신 공기를 사용하면 공기축수(air baring).
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
결정인상기능 - crystal lift mechanism
노체 위 부분에 있는 중공(中空)회전축을 끼우고 케이블을 둘러싸는 기구를 설치하여, 기구실 전체를 회전시켜 케이블에 회전을 전달하는 기구. 실리콘용 쵸크랄스키 장치에서는 축(shaft)방식에서 케이블 또는 베어링체인을 감는 방식으로 변했다.
반/디 용어집결정인상기능웨이퍼제공정
챔버 - chamber
결정성장에서 바깥 공기를 차단하고, 분위기를 유지하기 위해 설치한 용기. 구조상 석영관을 사용한 자연공랭형과 스테인레스망으로 만들어진 수랭형에서는 자켓구조, 동관으로 감긴 구조가 있다.
반/디 용어집챔버웨이퍼제공정
결정격자 - crystal lattice space lattice
결정을 구성하고 있는 원자와 그 주기적 공간 배열이 규칙적으로 배열되어 있고, 어떤 위치 관계를 가질 때, 일종의 골격으로 여겨지는 가공의 배열점을 격자라고 한다. 이 격자를 결정이라는 구체적인 구조물에 적용한 공간격자라 하고, 이것을 수학적 공간격자와 구별하여 결정격자라 한다.
반/디 용어집기본․공통웨이퍼제공정
결정계 - crystal system
결정을 분류하는 7개의 대분류. 입방정계, 정방정계, 육방정계, 삼방정계, 사방정계, 단사정계, 삼사정계로 나뉘며 결정의 주요 대칭 요소에 의한 분류한다.
반/디 용어집기본․공통결정계
와프 - warf
흡착고정되지 않은 상태의 웨이퍼에서 지정된 뒷면기준면에 의한 웨이퍼 중심면의 거리의 최대값과 최소값의 차이.
반/디 용어집검사웨이퍼제공정
인조연마재 - artificial abrasive
인공적으로 만들어진 연마재.
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
워크블럭 - ingot mounting block
절단공정에 있어서, 잉곳단면에 설치되는 잉곳보호도구. 연마입자를 고착하기 위한 얇은 금속판.
