회전하는 로터에 탑재된 세정물에, 회전 중심축에서 세정액을 분무하여 세정하는 장치. 송액부(送液部)의 밸브를 바꾸어 세정액을 자유롭게 변경할 수 있어 세정물의 상태는 변하지 않고 일련의 세정처리를 완료할 수 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
웨이퍼폭 축소탑재장치 - wafer group closing mechanism
카세트리스(cassetteless) 웨이퍼스테이션에 있어서, 50장의 웨이퍼를 일괄처리하기 위해 로딩(loading)할 때, 서로 떨어진 두 카세트에서 골라낸 25장의 웨이퍼 두 그룹을, 마치 50장용의 카세트에 넣은 것처럼 근접시켜, 로봇 척에 탑재하는 장치. 25장의 웨이퍼를 탑재한 2개의 척을 근접시켜 50장을 일괄운송하는 방식도 있다. 세정조(cleaning bath)의 소형화가 가능하다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
인라인히터 - inline heater
가열약액세정과 가열순수린스를 하기 위해, 공급배관 또는 순환여과배관에 약액을 흐르게 하면서 가열할 수 있도록 한 장치. 처리조 안에 투입 히터를 사용하지 않고 세정할 수 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
일조식 세정장치 원 배쓰식 세정장치 - one bath type cleaning equipment
한 개의 세정처리부(수조․탱크․챔버 등)에서 여러 세정처리를 순차적으로 진행할 수 있는 장치. 장치점유면적이 작지만, 반면에 쓰루풋(throughput)이 저하된다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
순화여과식 세정조 - bath with filter for circulating solution
약액을 항상 필터로 여과하는 세정조.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
수중 컨베이어 - underwater conveyor
수중에서 세정대상물을 운반하는 장치.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
메가헤르쯔 초음파 세정장치 - megasonic cleaning equipment
800kHz에서 1MHz의 주파수대역의 초음파를 사용하는 세정장치. 메가헤르쯔 초음파세정에는 캐비테이션(cavitation)의 발생이 없고, 강한 진동가속도가 물분자에 부여되므로 웨이퍼에 대미지를 주지 않고, 서브미크론의 입자를 제거하는 것이 가능하다.
