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2극 스퍼터링 장치 - diode sputtering system

두 개의 음극과 한 개의 양극으로 된 2극음극 글로우방전구조를 갖춘 스퍼터링장치. 음극은 타겟에 해당되며, 양극은 웨이퍼홀더를 겸하고 있다. 글로우방전을 발생시키기 위해, 전극간에 직류전압을 걸어주는 직류2극 스퍼터링과 13.56MHz의 고주파 전압을 걸어주는 고주파2극 스퍼터링장치가 있다. 후자는 절연체도 스퍼터링을 할 수 있다는 것이 특징이다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
동축마그네트론스퍼터링장치 - coaxial magntron sputtering system

음극와 양극이 동축(同軸)원통 모양의 구조를 갖는 마그네트론 스퍼터링장치. 중심에 있는 원통 모양의 타겟 내부에는 원통 모양의 자석이 여러 개 들어가 있으며, 타겟표면과 평행한 자계가 발생하여 마그네트론 방전을 유지한다. 음극과 양극의 배치가 역전된 역동축(逆同軸)마크네트론 방식도 있다.

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