전계방사전류가 탐침과 시료 사이의 거리에 의존하는 것을 이용하여 시료표면의 원자레벨의 굴곡을 터널전류의 변화로 탐지하고, 탐침의 움직임을 화상으로 표시하는 방법.
반/디 용어집물성검사장치검사
주입발광법EL - electro - luminescence method
순방향바이어스를 인가하여 주입된 소수캐리어가 재결합할 때에 방출되는 빛을 분광 분석하는 방법.
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저속전자선회절법 - low energy electron diffraction method
5～500전자볼트(eV)정도의 동일한 에너지의 전자가 이용되며, 표면으로 산란될 때, 이 에너지를 잃지 않는 전자만을 선택적으로 가속, 형광판의 위의 회절상을 맺는 방법. 단결정의 원자구조를 연구하기 위한 기술.
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확산저항법 SR - spreading resistance method
저항률ρ의 반도체 중에 점접촉하는 침 끝에서 전류가 넓게 확산되어 흐를 때 발생하는 전압강하는 I․Rs로 되고, 이 Rs를 확산저항이라고 한다. 전류는 침끝에서 반도체 중에 급속하게 확산되기 때문에, 전압강하는 대부분 침의 접촉면 근방에서 발생한다. 이 원리를 이용하여, Si 웨이퍼의 표면근방의 저항률을 측정하는 방법.
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표면광여전력법 SPV - surface photovoltaic method
pn접합 등에 광프로브를 쏠 때에 발생하는 광기전력을 이차원상으로 기록하는 방법.
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환경제어형주사전자현미경 - environmental scanning electron microscope
시료실을 저진공 10～2700Pa로 제어하고, 전자빔을 시료 위를 주사하여, 시료에 의해 발생하는 이차전자를 검출한 표면모양을 관찰기록하는 전자현미경.
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핵자기공명법 NMR - nuclear magnetic resonance method
외부자계 중에 핵 스핀을 둠으로써 발생하는 제만준위간 천이에 의해 공명흡수스펙트럼을 측정하는 방법.
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X선광전자분광법 XPS - X - ray photo - electron spectro - scopy
시료에 일정한 에너지의 X선을 조사하여, 발생하는 광전자의 운동에너지를 측정하여, 시료구성원자의 화학적 시프트에 의해 결합상태를 확인하는 방법.
