주사투과형전자현미경 STEM - scanning transmiss - ion electron microscope
얇게 자른 시료를 투과한, 극히 가는 전자빔으로 주사할 때, 시료의 원자번호 또는 결정구조의 변화를 이용하여 검사장치가 만들어내는 상의 밝기를 화상으로 보여주는 현미경
반/디 용어집물성검사장치검사
전반산형광X선분석법 TXRF TRXRF - total reflection X - ray fluorescence analysis
실리콘웨이퍼와 같은 평탄한 시료를 얕은 각도에서 X선을 입사시켜, 시료표면 위에 전반사 되도록하여, 시료표면의 원자만을 여기시켜, 시료표면의 불순물을 분석하는 방법.
반/디 용어집물성검사장치검사
적외선흡수분석법 - infrared absorption spectro - scopy
적외선의 파장을 변화시켜 빛을 비출 때, 분자진동으로 발생하는 에너지의 흡수스펙트럼을 측정하는 방법.
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반데어포우법 - Van der Pauw method
전극 a→b 사이의 전류 Iab를 흘려줄 때의 전극 c→d 간의 전압 Vcd, 또는 b→c 사이에 전류를 Ibc를 흘려줄 대의 전극 d→a 사이의 전압 Vda를 측정하여, 저항률(ρ), 이동도(μ)를 계산하여 구하는 방법. 홀효과 및 비저항측정법의 일종, 시료모양에 상관없이 측정하는 방법.
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사탐침법 - four point probe method
일직선상에 나란하게 배열된 4개 침의 바깥 2개에서 전류 I를 흘려, 내부 2개의 침 간에 발생하는 전위차 V를 측정하는 방법.
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형광X선분광법 XRFS - X - ray fluorescence spectro - scopy
시료에 높은 에너지의 X선을 조사하여 여기하면, 시료에서 형광X선이 방사된다. 이 스펙트럼선의 파장으로부터 시료중의 원소를 알아내고, 각 선의 강도로부터 농도의 양을 알아내는 방법.
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푸리에변화적외분광법 FT - IR - Fourier transform infrared spectro - scopy
2광속(光束) 간섭곡선을 푸리에변환하여 스펙트럼을 구해, 실리콘웨이퍼 중의 산소, 탄소 등을 측정하는 방법.
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p/n측정기 - p/n type measurement system
반도체의 전도형이 p형인가 n형인가를 측정하는 장치. 홀전압의 방향을 측정, 또는 열기전력의 방향을 측정하여 판별한다.
반/디 용어집물성검사장치검사
DLTS - deep level transient spectro - scopy
펄스전압을 순방향으로 인가하고, 온도를 올리면서 트랩된 캐리어의 열방출에 의해 접합용량 변화하는 양을 검출하는 방법.
