일과식냉각수설비 - one pass condensing (cooling) water system
생활용수, 공업용수 등을 냉각하여 반도체제조장치 등의 피냉각대상물로 보내고, 냉각후에는 다른 용도의 물로 이용하거나 배출하여, 냉각수로는 재이용되지 않는 송수방식의 냉각수 설비. 다량의 물을 필요로 하기 때문에, 특수한 경우 이외에는 이용하지 않는다.
반/디 용어집초순수장치설비․환경공정
이단RO장치 - double pass RO
제1단 RO의 투과수를 제2단 RO에 공급하여 처리하고, 비저항값 0.5～5MΩ․㎝ 정도의 순수를 얻는 장치. 후단에 재생설비가 불필요한 이온교환장치와 결함되는 것이 많다.
반/디 용어집설비․환경공정물
용재산소 - dissolved oxygen
수중에 용해되어 있는 분자모양의 산소. 초순수제조장치에는 진공탈기탑, 질소가스탈기장치에 의해 제거되고, 재용해를 방지하기 위해, 순수탱크에는 N2가스를 주입하고 있다. 농도의 측정은, 윙클러법, 격막전극법 등이 있으며, 간편한 검지관비색법도 있다. 단위는 ㎍/l로 표시한다.
반/디 용어집설비․환경공정물
불산회수장치 - hydrofluoric acid regenerator
에칭, 세정 등의 공정에 사용된 짙은 농도의 불산폐액을 입자 모양의 탄산칼슘에 접촉시켜, 불화칼슘으로 변환시켜 회수하는 시스템. 반응식은 2HF+CaCO3=CaF2+CO2+H2O 회수된 불화캴슘은, 불산제조의 원료로써 사용할 수 있다.
반/디 용어집설비․환경공정물
슬라임방지제 - slime inhibitors
냉각수중의 세균, 토사, 먼지 등이 혼합되어 형성된 가는 먼지모양의 침전물을 슬라임이라고 부르며, 이것들을 방지하는 약품을 말한다. 염소제 등이 있다.
반/디 용어집설비․환경공정물
배관접합기술 - pipeline jointing technique
수지배관의 접합법으로써는, 접착제에 의한 접한 및 열용착에 의한 접합이 있으며, 후자는, 소켓식열용착 및 배트식열용착으로 나뉜다. 배관재료에 대해서 내열성과, TOC 용출이 적어 열용착에 의한 접합이 주류가 되고 있으며, 내면의 미끄럼이 양호한 배트식 열용착법이 점점 많이 사용된다.
반/디 용어집설비․환경공정물
실린더캐비넷 - cylinder cabinet
반도체제조용가스 중에서, 독성이 강한, 혹은 자연발화성이 높은 위험성가스를 안전하게 취급하기 위해, 고압가스용기를 수납하여 가스를 공급하는 장치. N2에 의한 내부 퍼지, 가슬누출경보기, 배기계 등의 기능을 갖는다.
