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원수조정조 - waste water equalizing tank

폐수수질 및 유량의 시간경과변동을 평균화하기 위해 설치한 폐수처리장치의 일시정장조.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
이온교환수지 - ion exchange resin

수중에 존재하는 이온을 흡착제거하는 능력을 갖는 비즈(beads)모양의 합성수지. 양이온교환수지, 음이온교환수지의 두 종류가 있다. 같은 능력을 갖는 섬유 모양의 수지도 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
유즈포이트배관 단말배관 - distribution piping for ultrapure water

서브시스템에서 유즈포인트로 물을 보내고, 다시 서브시스템으로 보내도록 연결된 배관. 배관에는, 유량계, 압력계, 비저항계 등 센서 및 제어기가 부착되어, 유량, 압력, 온도가 제어되고, 수질유지를 위해, 체류부분이 없어야 하며 적당한 유속이 필요하다. 밑의 그림에 표시된 리버스리턴(reverse return)방식이 많이 이용된다. 이 방식은, 공급배관과 귀환배관을 구별하여, 역류를 방지하고, 초순수의 수질을 유지한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
오작동방지밸브제어시스템 - error operation free valve control system

반도체제조시스템에서 발생하는 다양한 전자노이즈에 의해 발생하는, 가스공급시스템에 이용되는 자동밸브 등의 오작동을 방지하는 시스템. 각각의 밸브 등의 부품을 개별적으로 코드화하여, 제어계에서 발신된 코드와 일치하는 경우에만 동작되도록 하는 장치.

반/디 용어집 수질분석기기 설비․환경공정
이온교환용적 - ion exchange capacity

이온교환수지가 갖는 이온의 교환반응이 가능한 교환기(交換基)의 양. 총교환용량, 중성염분해용량, 관류용량의 3개로 구분된다. 총 교환용적은 교환기의 전체 양을 표시하는 것으로, mg당량/ml습윤수지로 표시된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
유즈포인트 - point of use

서브시스템에서 유즈조인트배관으로 유도되는 초순수를, 웨이퍼처리공정에 있어서 세정 등의 목적으로 사용하기 위해, 배출하는 지점

반/디 용어집 설비․환경공정 물
음이온교환탑 - anion exchanger

음이온교환수지를 충전한 이온탑. OH탑 혹은 A탑이라도 부른다. 일반적으로 알칼리로 재생된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
열교환기 - heat exchanger

유체가 혼합되지 않고, 칸막이벽을 통하여 유체에서 다른 유체로 단지 열만을 전달하는 장치. 일반적으로 칸막이벽은 금속제로, 관 모양으로 된 쉘앤드튜브(shell and tube)열교환기, 및 평판 모양으로 된 플레이트(plate)열교환기가 있다. 냉각수계에서 이용되는 물-물 외의 것, 공조계에 이용되는 증기-물, 공기-물 등의 열교환기가 았다.

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반/디 용어집 설비․환경공정 물
일차순수 - primary pure water

전처리장치의 처리수 중에 준재하는 이온, 미립자, 미생물, 유기물 등의 불순물을 대부분 제거한 고순도의 물. 비저항값 5～18MΩ․㎠ 정도의 순수가 사용되는 케이스도 있지만, 보통은 후단에 설치된 서브시스템의 원수를 말한다. 즉, 이온만을 제거한 저순도의 물을 단순히 탈이온수, 혹은 순수라고 한다.

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