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스테이지 제어계 - stage control system

스테이지의 위치를 결정하기 위한 일련의 제어계. 스테이지의 위치․속도․방향 등의 파라메터 설정 및 전송수단․제어회로․구동부 등의 하드웨어 및 이것들을 총괄 제어하는 소프트웨어로 이루어져 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
빔직경 가우스상 직경 - beam diameter diameter of Gaussian image

가우시안 빔방식의 묘화방식에 있어서, 기판면 위에 집속된 빔의 직경. 보통, 이 크기는 표준편차으로 표시된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
스폿노광수정장치 - spot - beam exposure repair system

레지스트를 도포한 마스크에 점 모양의 자외선을 조사하여, 마스크의 백결함을 수정하는 장치. 결상광학계를 이용하여 파일럿광(光)으로 수정위치를 확인하고, 개구상을 마스크 위에 결상시킨 레지스트를 노광하여, 리프트온법에 의해 수정하는 것.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
성형개구 - shaping aperture

성형빔 방식의 전자빔 묘화장치에 있어서, 전자빔을 원하는 형상으로 만들기 위한 일종의 개구.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
아베 오차 - Abbe error

치수측정장치를 이용한 측정계에 있어서, 피측정점이 측정축 위에 없을 때에, 피측정 대상을 이동시키는 수단(stage 등)의 진직도(眞直度)의 오차에 의해 발생하는 측정값의 오차. 측정축과 피측정점의 어긋난 양을 , 스테이지(stage)계의 진직도 오차(각도오차)를 θ로 놓으면, 근사적으로 sinθ가 된다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
빔 확대기 - beam expander

레이저빔을 확대시켜 개구에 비춰주는 광학소자

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
베이킹장치 - baking oven

마스크 블랭크에 레지스터를 도포한 후에 가열하는 장치인데, 대류식(convection)과 오토 플레이트 오븐(auto plate oven) 등이 있다.

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 베이킹장치
분해능 상분해능 - resolving power of image

SEM상에 있어서, 떨어져 있는 두 점을 구별할 수 있는 두 점간의 거리.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
반사전자 - black - scatterd electron

전자가 고체표면에 입사할 때, 고체표면에서 반사되거나 물질의 내부에 칩입한 후 산란하여 입사전자와 반대방향으로 방사(放射)되는 비교적 에너지가 높은 전자

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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반사전자 - black - scatterd electron

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