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인렌즈편향방식 - in - lens deflection

최종단 렌즈의 중심에 편향기가 들어있는 빔 편향방식. 편향자장과 렌즈자계의 중첩에 의해 편향 수차를 감소시키는 장점이 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
자기실드 - magnetic shield

외부 자계를 차단할 목적으로, 파마로이(Permalloy) 등의 고투자율 재료를 이용하여 원하는 영역을 둘러싸는 것

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
일괄 노광 블록 노광 - cell projection block exposure

전자빔 노광방식에 하나. 전자광학계로 노광할 때, 개구부를 갖춘 마스크를 설계하여, 개구부의 형상을 시료 위에 전사하는 묘화방식. 이것에 의해 전사된 샷(shot) 수를 줄일 수 있어, 쓰루풋을 향상시킬 수 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
이미터 - emitter

캐소드의 동의어. 보통, 전계방사형 또는 열전계 방사형 전자총의 음극을 가리킨다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
외형 치수 - outer dimension

기판의 폭․길이․두께․평행도․면의 상태․직각도․각의 형태 등의 형상 치수. 예를 들면, 폭이 5인치, 두께가 0.09인치인 것은 5009라고 호칭한다.

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정
의사결함 - false defect

본래 패턴의 결함이 아닌데, 검사장치에 이상이 있어 결함이라고 판단되는 것.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
이물검사 - dust paticle inspection contamination inspection

빛의 투과 또는 산란반사 등을 이용하여 기판과 펠리클 위의 이물과 흠을 검사하는 장치.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
외관검사 - visual inspection

마스크의 패턴 결함과, 패턴의 모양, 유리표면의 흠, 오염, 얼룩 등을 검사하는 것의 총칭. 미세한 검사는 자동화되어 있으나, 거시적인 검사는 투광기, 슬릿램프(slit lamp) 등으로 경사광(傾斜光) 조명을 하는 육안 검사가 행해지고 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
입력데이터 포멧 - input data format

장치에 입력된 패턴 데이터의 표현방식

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

인렌즈편향방식 - in - lens deflection

자기실드 - magnetic shield

일괄 노광 블록 노광 - cell projection block exposure

이미터 - emitter

외형 치수 - outer dimension

의사결함 - false defect

이물검사 - dust paticle inspection contamination inspection

외관검사 - visual inspection

입력데이터 포멧 - input data format

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