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미러이미지 - mirror image

서로 거울상의 관계에 있는 패턴으로서 그림의 (a)와 (b) 그리고 (c)와 (d)의 관계가 이것에 해당된다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
미니멈도즈법 - minimum dose method

전자빔의 조사량(도즈량=조사전류(A)×시간(초))를 최소로 하여 관찰 및 측정하는 방법.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
촉침식막후계 (觸針式膜厚計) - contact type film thickness meter

단차가 있는 시료 표면을 선단 반경 수 미크론에서 수십 미크론의 스타일러스라고 불리우는 침으로 주사(走査)하여 스타일러스의 상하 움직임을 전기신호로 변화시켜 읽어내는 것에 의해 막의 두께 또는 표면형상 등을 측정하는 장치

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
EB측정 - electric beam line width measure - ment

전자선을 이용하여, 마스크 또는 웨이퍼 위에 미세한 패턴 수치단위를 측정하는 것.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
프레임 스트라이프 - frame stripe

(1)라스터 스캔방식의 묘화장치에 라스터 주사폭과 같거나, 주사폭을 자연수로 나눈 값과 같은 폭을 가지는 띠 모양의 작은 영역. 칩은 이런 띠 모양의 작은 영역을 폭의 방향으로 틈새 없이 병렬로 배치한 것의 집합이다. 또, 이런 폭을 프레임폭이라 부른다. (2)레티클로 차광(遮光)하는 범위

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
잡 데이터 잡 데크 - job data job deck

다이(칩)의 배열, 묘화 모드. 도즈(dose)량 등의 노광조건, ID문자, 묘화 순서 등 묘화하기 위한 작업지시 데이터.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
필드파티션 - field partition

벡터 스캔방식의 전자빔 묘화장치에 있어서, 패턴 데이터를 필드 사이즈로 분할하는 것

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
패턴결함 - pattern defect

기판 위에 형성된 패턴 위의 모양이 정해진 오차 범위를 벗어난 것.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
형광현미경 - fluorescence microscope

시료하여 발생하는 형광(螢光)을 쉽게 관찰하게 해 주는 현미경. 근자외선을 포함하는 광원(수은램프)와 파장선택 필터, 다이크로익 미러 및 근자외선까지 색수차가 보정된 대물렌즈를 구비하고 있으며, 이물의 종류판정 수단으로써 이용되는 것도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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프레임 스트라이프 - frame stripe

잡 데이터 잡 데크 - job data job deck

필드파티션 - field partition

패턴결함 - pattern defect

형광현미경 - fluorescence microscope

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