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정지화상 - static image

SEM상을 메모리에 보존하여, 관찰 또는 측정할 때에 메모리에서 불러와 화상을 표시하는 방법.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
저가속관찰 - low voltage observation

낮은 가속전압에 의한 SEM 관찰법. 가속전압을 낮게 하면, 이차전자의 방출효과가 커져 차지업이 작기 때문에, 시료표면에의 충실도가 높게 관찰할 수 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
하프톤결함 회색결함 - halftone defect gray defect

패턴을 형성하는 차광막(크롬막)의 두께가 부분적으로 얇아지거나, 투명부분에 차광막이 생겨서 투과율이 저하되는 패턴결함.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
픽셀 화소 - pixel

화상정보를 처리하기 위해, 화상을 미소 구역으로 분해할 때, 한 구역에 해당되는 것, 픽셀의 크기가 작으면 작을수록 더 높은 해상도를 갖는 화상처리를 할 수 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
휨 보정 - fluxure compensation bow compensation

마스크의 자체의 무게로 마스크 지지부 위에 휜 성분만을 보정하는 것. A: 마스크가 원래 가지고 있는 휜 성분 B: 마스크 자체의 무게에 의해 휜 성분 C: 지지점 위의 마스크가 휜 성분

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
전자총 - electron gun

전자를 방사해, 빔 형상으로 집속시키는 장치. 열전자방출형․전계방사형․열전계방사형의 세가지 형이 있고, 모두 다 캐소드(cathode), 웨넬트(또는 인출전극), 애노드(anode)의 세가지 전극으로 구성되어 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
패턴제너레이터 - pattern generator

가변(可變) 개구(aperture)의 축소 투영상을 포토마스크에 중복 노광시킴으로써 포토마스크에 패턴을 연소시켜 붙이는 노광장치

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
특징유출법 - feature sampling

CD, 코너각도, 패턴형상 등의 패턴이 가지는 특징 중, 규칙에 맞지 않는 패턴을 찾아내는 검사법.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
집속반각 - angular aperture

기판 위에서 최종단렌즈까지의 개구의 직경을 바라볼 때, 측정되는 각도의 절반

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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하프톤결함 회색결함 - halftone defect gray defect

픽셀 화소 - pixel

휨 보정 - fluxure compensation bow compensation

전자총 - electron gun

패턴제너레이터 - pattern generator

특징유출법 - feature sampling

집속반각 - angular aperture

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