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의사결함 - false defect

본래 패턴의 결함이 아닌데, 검사장치에 이상이 있어 결함이라고 판단되는 것.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
미시적결함 - microscopic defect

패턴의 치수와 비슷하거나 작은 패턴결함. 에지결함․코너결합․고립결함․패턴누락․패턴위치부정합 등이 있다. 투명결함(백결함)․불투명결함(흑결함)․반투명결함(회색결함)으로 구분된다. ①코너 빠짐 ②코너 돌기 ③핀 도트(pin dot, pinspot, 섬) ④핀홀 ⑤관입(intrusion) ⑥mouse-nip(rotbite) ⑦돌출(extension, protrusion) ⑧테두리거칢(edge roughness)⑨브리지(bridge, short) ⑩절단(break, slit) ⑪패턴누락(pattern missing)

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
시프터결함 - shifter defect

위상 시프트 마스크에 있어서, 시프터패턴의 결함, 시프터 위상차의 부정합, 시프터 정렬의 부정합, 시프터 폭의 부정합, 시프터의투과율의 변화 등의 결함의 총칭.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
하프톤결함 회색결함 - halftone defect gray defect

패턴을 형성하는 차광막(크롬막)의 두께가 부분적으로 얇아지거나, 투명부분에 차광막이 생겨서 투과율이 저하되는 패턴결함.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
특징유출법 - feature sampling

CD, 코너각도, 패턴형상 등의 패턴이 가지는 특징 중, 규칙에 맞지 않는 패턴을 찾아내는 검사법.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
홀로그래픽 검사장치 - holographic inspection system

이차원적이고 규칙적으로 반복되어 있는 패턴을 홀로그램기술을 이용하여 반복된 패턴의 평균적인 상과 비교하여 패턴결함을 찾아내는 검사장치

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
패턴비교 검사장치 - pattern compensat - oin inspection system

검사하려는 마스크 패턴을 마스크의 안 또는 마스크 사이의 패턴과 비교하여, 이 두 개의 패턴이 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사장치.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
패턴결함 - pattern defect

기판 위에 형성된 패턴 위의 모양이 정해진 오차 범위를 벗어난 것.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
표준패턴 비교법 - standard pattern comparision

검사하려는 마스크의 패턴을 미리 준비한 표준 마스크의 패턴과 비교하여, 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사법

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치

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표준패턴 비교법 - standard pattern comparision