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형광X선분광법 XRFS - X - ray fluorescence spectro - scopy

시료에 높은 에너지의 X선을 조사하여 여기하면, 시료에서 형광X선이 방사된다. 이 스펙트럼선의 파장으로부터 시료중의 원소를 알아내고, 각 선의 강도로부터 농도의 양을 알아내는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
푸리에변화적외분광법 FT - IR - Fourier transform infrared spectro - scopy

2광속(光束) 간섭곡선을 푸리에변환하여 스펙트럼을 구해, 실리콘웨이퍼 중의 산소, 탄소 등을 측정하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
p/n측정기 - p/n type measurement system

반도체의 전도형이 p형인가 n형인가를 측정하는 장치. 홀전압의 방향을 측정, 또는 열기전력의 방향을 측정하여 판별한다.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
주변부제외영역 - edge exclusion

평탄도규격적용영역 외의 웨이퍼 에지에서의 거리.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
FPD - focal plane deviation

흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 표면을, 평탄하게 교정한 상태에서, 지정된 글로벌 표면기준면에서의, FQA내의 웨이퍼표면에서 최대거리.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
풀사이트 - full site

사이트 전영역이 FQA 안에 있는 사이트.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
평탄도 - flatness

흡착고정 등에 의해 웨이퍼 뒷면을 평탄하게 교정한 상태에서, 정해진 기준면 또는 초점면에서의 편차량. 평탄도는 노광공정에 있어서 웨이퍼의 중요한 파라메터이다.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
DLTS - deep level transient spectro - scopy

펄스전압을 순방향으로 인가하고, 온도를 올리면서 트랩된 캐리어의 열방출에 의해 접합용량 변화하는 양을 검출하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
X선회절법 XD - X - ray diffractom - ry

결정격자면으로 회절하는 X선패턴 혹은 강도를 기록하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

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