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FPD - flow pattern defect

as-grown의 Si 웨이퍼르 장시간(30분정도) Secco 에칭할 때에 보여지는, 특이한 플로우 패턴. grown-in결함의 일종이다.

반/디 용어집 특성용어 검사
흡착/비흡착 - vacuum/ nonvacuum

측정하려는 물체를 진공 등으로 홀더와 치구에 고정시키는 것/고정되지 않는 것.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
반데어포우법 - Van der Pauw method

전극 a→b 사이의 전류 Iab를 흘려줄 때의 전극 c→d 간의 전압 Vcd, 또는 b→c 사이에 전류를 Ibc를 흘려줄 대의 전극 d→a 사이의 전압 Vda를 측정하여, 저항률(ρ), 이동도(μ)를 계산하여 구하는 방법. 홀효과 및 비저항측정법의 일종, 시료모양에 상관없이 측정하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
사탐침법 - four point probe method

일직선상에 나란하게 배열된 4개 침의 바깥 2개에서 전류 I를 흘려, 내부 2개의 침 간에 발생하는 전위차 V를 측정하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
사이트배열 - site array

FQA 안에 있어서 규정된 사이트의 배열

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
슬립 - slip

Si 웨이퍼의 열처리를 실시할 때, 열응력 등의 응력이 어떤 결정면을 따라 가해질 때, 결정 속에서 미끄러짐에 의해 발생하는 결정결함.

반/디 용어집 특성용어 검사
석출 - precipitation

용액 또는 고용체(고체와 액체가 공존)중에 과잉으로 용해된 원자가, 이 용액 또는 고용체에서 분리되어 새로운 안정, 또는 준안정 상태의 고체를 만드는 현상.

반/디 용어집 특성용어 검사
앞면기준 표면기준 - front side reference

웨이퍼표면측으로 기준면을 잡는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
모아레 토포그래피 - Moire topography

두 개의 가는 격자가 중복될 때에 발생하는 물결무늬(모아레무늬)를 이용하여 물체표면을 등고선으로 표시하는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

FPD - flow pattern defect

흡착/비흡착 - vacuum/ nonvacuum

반데어포우법 - Van der Pauw method

사탐침법 - four point probe method

사이트배열 - site array

슬립 - slip

석출 - precipitation

앞면기준 표면기준 - front side reference

모아레 토포그래피 - Moire topography

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