사이트영역의 일부가 FQA 밖에 있는 사이트 중에서, 사이트 중심이 FQA 안에 있는 것.
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쌍정 - twin
두 개의 같은 결정이 특정한 면 또는 축에 관하여 대칭으로 배열되어 있는 결정상태. 쌍정에는 크게 두 개의 요소가 있어, 대칭조작이 어느 축에 관하여 180°의 회전인 경우(회전쌍정)과, 어떤 면(쌍정면)에 관하여 거울반사인 경우(반사쌍정)이다. 쌍정결정 중에서 두 개의 부분을 나누어 주는 경계면을 쌍정경계라고 한다.
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성장무늬 - striation
단결정이 성장할 때, 성장조건에 따라 거의 주기적으로 변동하므로 발생하는 부분적인 결정결함.
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사이트크기 - site size
웨이퍼 평탄도 측정에 있어서 사이트의 크기. 보통㎜×㎜로 나타낸다. 셀크기(cell size)라고 불리우는 것도 있다.
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사이트 - site
웨이퍼를 어떤 일정한 방법으로 분활할 때의 한 구역. 1구역을 대상으로 한 평탄도를 사이트 평탄도(site flatness)
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바우 - bow
흡착고정되지 않은 상태에서 활 모양으로 굽은 웨이퍼의 중심점과 지정된 기준면에서 웨이퍼 중심면과의 거리.
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스크래치 - scratch
Si 웨이퍼의 외관검사에 사용하는 용어로, 웨이퍼표면의 미소한 흠.
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사이트FPD - site FPD
흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 뒷면을 평탄하게 교정한 상태에서, 각 사이트마다 지정된 초점면에서의 각 사이트표면에서의 최대거리.