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저압기상 에피택셜 성장장치 - reduced(low) pressure vapor phase epitaxial growth system

저압상태에서 기상에피택셜성장을 하는 장치. 웨이퍼에서의 자동도핑(auto doping)이 감소하기 때문에, 급격히 변하는 조성분포를 얻는 등의 이점이 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
점결합시험 - bit defect test

균일광 또는 다크(dark)조건에 있어서, 특정의 독립한 화소출력의 이상유무를 시험하는 것. 다른 출력 이상(異常)에 비해 큰 경우는 백점결함, 작은 경우에는 흑점결합이라고 한다. 이것 외에 페어(pair)결함, 자라결함이 있다.

반/디 용어집 사공정 디버그
플래틴 - platen

교환하기 위해 반송되어 온 레티클을 지지(支持)하고, 광학계의 정해진 위치에 세팅하는 지지기구.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
휠헤드 - wheel head

휠축을 구비하고 있는 부분.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
전자(電子) 렌즈 - eletron lens

축대칭의 자계 또는 전계가 전자선에 대해서 렌즈 작용을 가지는 것을 이용한 전자빔에 대한 렌즈. 전자광학계의 중심이 되는 중요한 구성요소. 전자빔 묘화장치에서는 자계형 전자렌즈가 이용되고 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
제어공기원장치 - control - air source equipment

공기 실린더식 자동밸브, 조정밸브, 공기식조정계 등의 조작에 이용되는 공기를 제조하는 장치. 주로, 압축기(compressure), 공기조, 제습기, 감압밸브 등으로 구성된다.

반/디 용어집 사공정
절층분리장치 - coolant separator

연마찌꺼기 및 연삭찌꺼기를 연삭유제와 분리하는 장치. 원심분리, 필터분리, 홀리피스방식, 자기흡착식 등이 있다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
전자빔 검사시스템 전자빔 프로버 - electron beam test system electron beam prober

반도체소자의 내부를 진단하기 위해 진공 중에 피측정디바이스의 배선에 전자빔을 조사하여, 이 부분에서 발생하는 이차전자의 에너지변화로부터 회로의 전압을 측정하는 비접촉의 시험장치.

반/디 용어집 사공정 디버그
초음파병용열압착와이어본더 - thermosonic wire bonder

압력, 열, 초음파진동을 이용하여 와이어본딩하는 장치. 금(金)선 또는 동선의 볼본딩용장치와 웨지본딩용장치이 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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