초크랄스키법 CZ법 - Czochralski method pulling method
결정의 재료를 흑연(graphite), 석영, 질화효소, 백금제 등의 도가니에 넣어 저항가열 또는 고주파 유도가열 등에 의해, 재료를 녹여 용융점보다 조금 높은 온도로 유지하고, 그것에 단결정의 종자결정(seed)를 빼내어 충분히 섞고, 천천히 당겨 종자결정의 방위배열을 가진 커다란 원통 모양의 단결정을 성장시키는 방법. 성장시킨 결정은 용기와는 접속하지 않으므로, 그곳에서 기계적으로 응력을 받지않고, 비교적 양질의 것으로 바뀐다.
반/디 용어집
웨이퍼제공정
단결정제조
